V‑TEX 矩形门阀（狭缝阀 Slit Valve）规格参数

通用基础参数

驱动方式：气动，工作气源压力0.45‑0.55MPa启闭时间：1.0‑3.0s密封机构：ROLLCAM 滚凸轮结构，波纹管隔离驱动部，低粒子掉落氦漏率：阀体≤4×10⁻¹¹Pa・m³/s；阀板≤1.3×10⁻¹⁰Pa・m³/s标准寿命：100 万次启闭循环材质：阀体 A5052 铝合金；波纹管 AM350；阀板铝合金；密封件：标准 FKM 氟橡胶；可选 Kalrez 全氟橡胶耐腐蚀工况耐温：阀体最高 150℃；驱动波纹管部分≤80‑90℃压差耐受：关闭状态双向最大 1bar 压差；开启状态压差≤10mbar信号：位置传感器反馈（开 / 关到位信号）可选配置：R 逆压规格、H 阀体加热规格、波纹管 D、无波纹管简易款

主流开口尺寸

ROLLCAM 标准单凸轮（半导体晶圆传输）

1.ROLLCAM‑222×48：开口 222×48mm，适配 8 寸 (200mm) 晶圆，量产主流型号2.ROLLCAM‑336×50：开口 336×50mm，适配 12 寸 (300mm) 晶圆后缀说明‑D：焊接波纹管‑C：位置传感器‑P：气动驱动‑R：逆压耐受（负载锁，外侧大气内侧真空）‑H：阀体加热防工艺副产物冷凝

Twin‑ROLLCAM 双凸轮（FPD 面板大开口）

400×100mm、640×55mm、640×100mm、850×120mm，用于 OLED/LCD 基板传送窗口

型号后缀含义举例

ROLLCAM‑222×48 DCP‑RD = 波纹管密封，C = 位置传感器，P = 气动，R = 逆压耐受；DCP‑H = 带加热功能

使用注意

1. 开启的时候两侧压差不能过大，压差过高会出现无法开阀；2. 波纹管属于核心易损件，高温、腐蚀工艺优先选 Kalrez 密封；3. 分真空腔体款（带波纹管 D）、粗真空简易款（无波纹管），半导体工艺腔必须选波纹管版本。