V‑TEX 真空阀是什么？

V‑TEX 是日本专业超高真空阀门厂商，真空阀是真空系统里的开关部件，在负压环境下实现管路通断、腔体隔离、压力调节，用来隔离大气、隔绝不同工艺腔、调节抽气流量，广泛用于半导体、镀膜、FPD 面板设备。

工作原理

依靠气动驱动，通过Rollcam 滚凸轮机构带动阀板运动，关闭时压紧密封件实现真空密封；打开导通气流。

• 矩形门阀：直线升降，实现晶圆腔室之间的物料传输通道开关。‑ 摆阀：阀瓣旋转摆动，安装在腔体与真空泵之间，可做通断或者节流调压。依靠金属波纹管隔绝大气，驱动机构不会向真空内部释放粉尘颗粒，满足半导体洁净要求。

主要产品分类

1.矩形门阀 / 狭缝阀 Slit Valve用于晶圆传输通道，隔离工艺腔与传输腔，适配 8 寸、12 寸晶圆，半导体机台常用。Rollcam 结构，低震动、低发尘。

2.Penduroll 摆阀系列‑IPV：两位式，全开 / 全关，仅做管路隔断；‑3PV：三位置，全关‑固定节流‑全开，实现固定档位调压；‑APC：数控摆阀，搭配控制器，连续闭环调节真空腔体压力，CVD/PVD 蚀刻设备用来稳定工艺气压。

3.插板阀 Gate Valve大口径直通式真空隔断，用于主抽气管路，大腔体隔离。

V‑TEX 产品核心特点

1.Rollcam 滚凸轮结构，启闭冲击小，低振动、低发尘，颗粒污染少，适配半导体洁净工艺。2. 漏率性能优异，满足高真空、超高真空工况。3. 波纹管密封结构，驱动部件不暴露真空内部，减少污染。4. 寿命长，标准规格可达 50 万次以上启闭循环。5. 分为普通气动、三位置、闭环电控调压多种方案，满足隔断、节流、精密稳压不同需求。

典型应用

半导体蚀刻、PVD 溅射、CVD、ALD、离子注入、真空镀膜、面板 OLED 设备、科研真空腔体，实现腔体隔离、晶圆传输门、排气压力调节。