eFLOW3AC-P201隶属于DIC迪爱生eFLOWC系列独立柜式超纯水防静电装置，依托迪爱生自研SEPAREL中空纤维透气膜核心技术打造，面向大流量半导体湿法清洗产线开发，适配10～50L/min流体工况，适合连续式大型清洗设备、多条清洗腔体集中供水、老旧产线升级改造项目。型号编码中3代表大流量机型配置等级，AC代表一体化独立落地机柜结构，P201为标准化洁净管路配置规格。该机型流体处理能力与3AP-B01面板嵌入式机型保持一致，二者核心差异为安装形态；3AC-P201整...

EBARA荏原EV‑X30N小型半导体级无油干式真空泵全新入库，整机日本生产，现货库存充足，能够快速响应项目订单，解决进口设备订货周期漫长引发的项目延期问题，是小型半导体制程、分析仪器、精密真空设备理想的前级真空泵。EV‑X30N面向轻‑中等负荷真空工况设计，采用全无油干式螺杆结构，泵腔内部无润滑油参与工作，整机采用风冷散热模式，无需水冷机组与水路管线配套，大幅简化现场安装条件，设备摆放不受基建条件约束。规避油雾反流造成腔体污染，持续输出高洁净真空，满足精密工艺对内部洁净度的...

EBARA荏原EV‑X100N半导体级无油干式真空泵全新入库，整机日本，现货库存充足，可快速响应各类项目订单，解决进口设备订货周期久导致的项目进度滞后问题，是半导体制程、精密镀膜、科研真空系统十分优选的前级真空泵。EV‑X100N针对中小负荷半导体工艺开发，采用全无油干式螺杆结构，泵腔内部不使用润滑油，整机采用风冷散热，无需布置水冷管路以及冷却机组，减少现场配套施工，设备摆放不受场地条件限制。从根源避免油雾反流污染真空腔体，持续输出高洁净真空，满足各类精密制程对于腔体洁净度的...

eFLOW2AC-P201属于DIC迪爱生eFLOWC系列独立柜式超纯水防静电装置，依托迪爱生自研SEPAREL中空纤维透气膜技术打造，面向中流量半导体湿法清洗工艺开发，适配5～30L/min流量工况，多用于产线改造项目、独立大型清洗设备、多条清洗支路共用供水场景。型号编码中2代表双模组配置，AC代表一体化独立机柜结构，P201为标准化洁净管路配置规格。与2AP-B01面板嵌入式机型流量规格一致，二者核心差异为安装形态，2AC-P201整机集成控制系统、传感单元与管路框架，无...

eFLOW1AC-P201属于DIC迪爱生eFLOWC系列柜式超纯水防静电装置，依托迪爱生自研SEPAREL中空纤维透气膜技术打造，面向小流量半导体湿法清洗工艺设计，适配1~16L/min流量工况，多用于独立式清洗设备、研发实验清洗机、小型单片清洗机，是区别于AP面板嵌入式机型的独立机柜款电阻率调控、流体静电抑制设备。型号编码中1代表单模组配置，AC代表一体化机柜式结构，P201为标准管路配置规格，整机集成度高，到货后可直接接入管路投产。18.2MΩ・cm超纯水拥有绝缘性能，...

eFLOW3AP-B01属于DIC迪爱生eFLOWP系列EIA标准面板嵌入式超纯水防静电装置，搭载迪爱生自研SEPAREL中空纤维透气膜技术，面向大流量半导体湿法清洗产线开发，是10~50L/min工况下超纯水电阻率调节、流体静电抑制主力配套设备。型号编码中3代表大流量机型配置等级，AP为19英寸机架面板安装形式，B01为标准化洁净管路接口规格，支持全洁净规格选配，适配连续式清洗设备与多条清洗支路集中供水场景。18.2MΩ・cm超高纯度超纯水绝缘性能，水流高速冲刷晶圆、掩膜板...

eFLOW2AP-B01为日本DIC迪爱生eFLOWP系列19英寸面板嵌入式超纯水防静电装置，依托迪爱生自研SEPAREL中空纤维透气膜技术打造，面向中流量半导体湿法清洗工艺设计，适配大中型单片清洗设备、连续喷淋清洗产线，是流量区间5~30L/min工况主流电阻率调节与静电抑制配套设备。型号编码中2代表双模组配置，AP代表EIA标准机架面板安装结构，B01为标准化管路接口规格，可按需选配全洁净All-Clean规格。18.2MΩ・cm超纯水具备绝缘特性，水流高速冲刷晶圆、掩膜...

eFLOW1AP-B02是日本DIC迪爱生eFLOWP系列面板嵌入式超纯水防静电装置，依托迪爱生自研SEPAREL中空纤维透气膜技术打造，专门面向半导体、面板湿法清洗制程开发，用于在线调控超纯水电阻率，消除纯水静电危害，是单片清洗设备、小型喷淋清洗机主流配套设备。型号编码中1代表单模组配置，AP代表EIA标准机架面板安装结构，B02为标准化洁净管路接口规格。超纯水本身电阻率、绝缘性强，水流与晶圆、光学基板相互摩擦时极易积聚静电。静电会造成两大典型不良：一是静电吸附空气中微粒，...

交流电类型（AC法）该方法利用交流电源，通过单根放电针交替产生正离子（+）和负离子（-）。交流型静电消除适用于短距离、无风环境，广泛应用于制造工厂。高频型（约70kHz）商用频率型（50/60Hz）什么是高频型？通过对放电针施加远高于商用频率（约70kHz）的高电压，即可产生电晕放电，从而产生大量且平衡的正负离子，实现高效的静电消除。尤其是在用于电子管静电消除时，该方法能够实现其他方法（商用频率型或直流型）无法实现的局部静电消除。此外，通过将半导体元件靠近放电针产生的电场，可...

静电的测量和对策静电通常由物体表面接触和分离、形变、离子粘附、辐射、变形、化学变化等产生。静电会引起机械效应（吸引和排斥），例如库仑力，以及静电感应和放电等静电现象，长期以来一直是事故和灾害的根源。尤其近年来，随着半导体技术的进步，硬盘驱动器中的GMR磁头等半导体元件对静电极其敏感，因此亟需采取相应的应对措施静电的特性电荷移动速度：在绝缘体中极其微小。接地不良。导体中电荷的移动速度。它将成为一团充满能量的火花。绝缘体中的电流和电荷量相对较小。电势：非常高。难以测量。会发生诱导...

静电的成因及对策静电几乎无处不在。虽然其成因多种多样，但工业领域的主要问题是剥离电荷和摩擦电荷，而由此产生的感应是造成故障的主要原因。1分离和充电当两个重叠的物体分开时，就会发生这种情况。典型的例子包括人从椅子上站起来或撕下床单。2摩擦充电两个物体相互摩擦会产生静电，这是静电最基本的成因。摩擦电序列是一个系统，它通过实验确定哪些物体带正电，哪些物体带负电。摩擦电序列是基于很久以前的实验结果确定的，摩擦序列中位置较高且相距较远的物体会产生更强的静电。常见的静电现象包括脱衣服、工...

一、离子发生器两大主流技术分类所有静电消除离子发生器，按照电离产生离子的核心原理，分为电晕放电式、光电离式两大类，两类设备均依靠生成正负空气离子中和工件表面静电，但原理、性能、适用场景差异巨大。（一）电晕放电式离子发生器通过高压电极电晕电离空气生成正负离子，是制造业应用泛的类型，细分为电压施加式、自放电式两个子类。电压施加式（需外接电源，市面主流机型）依靠电源输出高压完成电离，根据供电电路技术再细分4种：（1）交流式AC分为工频50/60Hz、高频约70kHz两种。单根放电针...