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CMA10B厂商性质
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MKS 美国C系列紧凑型超快速质量流量控制器快速响应的型号，采用基于微机电系统 (MEMS) 的流量传感器，适用于非腐蚀性气体应用。该设备满量程流量范围为 15 至 14000 sccm（氮气），控制范围从满量程的 0.1% 到 100%，也可作为流量计使用。提供模拟 (0 至 5 VDC) 或数字 (RS485、PROFINET® 或 Modbus TCP/IP) 通信接口。
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C系列-厂商性质
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83产品描述
MKS 美国C系列紧凑型超快速质量流量控制器是一款紧凑型、快速响应的型号，采用基于微机电系统 (MEMS) 的流量传感器，适用于非腐蚀性气体应用。该设备满量程流量范围为 15 至 14000 sccm（氮气），控制范围从满量程的 0.1% 到 100%，也可作为流量计使用。提供模拟 (0 至 5 VDC) 或数字 (RS485、PROFINET® 或 Modbus TCP/IP) 通信接口。
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P9B-厂商性质
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58产品描述
MKS美国P9B高性能质量流量控制器半导体用压力不敏感型多气体/多量程质量流量控制器，其控制时间小于 750 毫秒，在从氦气等“轻”气体到六氟化硫等“重”气体的广泛工艺气体范围内，精度可达设定值的 1% 以内。P9B 是一款真正的多量程/多气体质量流量控制器，满量程流量范围为 5 sccm 至 50 slm，可最大限度地减少质量流量控制器的库存需求。
产品型号
P4B-厂商性质
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52产品描述
MKS美国P4B高性能质量流量控制器半导体用新一代多气体/多量程质量流量控制器，旨在满足对气体流量控制精度和响应速度的关键要求，同时最大限度地减少质量流量控制器的库存需求。P4B MFC的多气体/多量程功能基于预先存储在内存中的气体参数，可为用户选择的气体提供1%的设定点精度，满量程范围从5 sccm到50 slm。
产品型号
P系列-厂商性质
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77产品描述
MKS美国P系列高性能质量流量控制器半导体用新一代多气体/多量程质量流量控制器，旨在满足对气体流量控制精度和响应速度的关键要求，同时最大限度地减少质量流量控制器的库存需求。P4B MFC的多气体/多量程功能基于预先存储在内存中的气体参数，可为用户选择的气体提供1%的设定点精度，满量程范围从5 sccm到50 slm。
