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产品型号
SEC‑N132MGM- -
厂商性质
经销商 -
更新时间
2026-09-03 -
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82
产品描述
HORIBA堀场SEC‑N132MGM气体质量模块流量计MGM 代表金属密封结构。搭载 MR‑MG 多气体多量程功能,软件端可切换气体种类与满量程规格,无需拆卸管路。压电常闭阀,可变 PID 调节,全量程响应≤1s,中流量区间控制精度稳定。
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HORIBA堀场SEC‑N162MGM数字气体质量流量计载 MR‑MG 多气体多量程功能,软件端可切换气体种类与满量程规格,无需拆卸管路。压电常闭阀,可变 PID 调节,全量程响应≤1s,超大流量区间控制精度稳定。通讯支持模拟、RS‑485、DeviceNet、CC‑Link、PROFIBUS、EtherCAT。接液部件 SUS316L 电解超净抛光,适配超大流量高纯、部分腐蚀性工艺气体。