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MKS美国GM50A数字控制质量流量控制器可选配模拟输入/输出接口，或 RS485、Profibus™、EtherCAT®、PROFINET 或 DeviceNet™ 输入/输出接口。其数字控制电子元件采用最新的 MKS 控制算法，可在整个控制范围内实现对设定点的快速且可重复的响应。典型响应时间约为 500 毫秒。使用校准气体进行数字校准，可达到设定点精度的 1%。
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MKS美国GE50A数字控制质量流量控制器可选配RS485、Profibus™、EtherCAT®、PROFINET或DeviceNet™ I/O接口。其数字控制电子元件采用最新的MKS控制算法，可在整个控制范围内实现对设定点的快速且可重复的响应。典型响应时间约为500毫秒。使用校准气体进行数字校准，可达到设定点精度的1%。
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LINTEC林泰克 臭氧专用质量流量控制器CVD臭氧气体运行质量流量控制器 该臭氧气体质量流量控制器利用Lintec 独特的环境温度补偿传感器，实现了对易发生热分解的臭氧气体的高效流量控制。 即使长期控制臭氧气体流量，臭氧气体浓度也保持不变。
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