OZ‑1 系列为臭氧气体专用热式质量流量控制器，针对臭氧易热分解、强腐蚀特性开发，压电驱动隔膜阀体，特殊耐臭氧流路材质。氮气当量量程 10SCCM‑50SLM，搭载 EtherCAT、DeviceNet 两种数字总线可选，传感器自带环境温度补偿，降低臭氧受热分解，长时间工作臭氧浓度不易发生改变，流路洁净控颗粒，可实现一台臭氧发生器多路分流供气，多用于半导体臭氧清洗、臭氧 CVD 工艺。主流型号：OZ‑1‑010、OZ‑1‑050、OZ‑1‑500、OZ‑1‑1K、OZ‑1‑5K、OZ‑1‑10K、OZ‑1‑20K、OZ‑1‑50K，支持低压差定制选项。

产品特点

臭氧气体专用机型，优化传感热负荷，减少臭氧受热分解，长期工作维持臭氧浓度稳定。
环境温度补偿传感结构，环境温度波动条件下流量测量精度稳定。
耐臭氧腐蚀流路材质，颗粒管控严格，满足半导体洁净工艺要求。
压电隔膜阀结构，腔体死体积小，气体置换速度快。
双数字总线可选，EtherCAT 适配新式产线，DeviceNet 适配存量老设备，支持多台组网。
测量精度 ±1% S.P，控制区间 2‑100% FS，流量控制重复性好。
具备零点校准、累计流量统计功能，支持通讯远程调试。
标准常闭阀，断电切断气路；支持低压差规格定制，适配气源压力偏低工况。

基础性能参数

测量原理：热式传感氮气当量量程：10SCCM‑50SLM控制区间：2‑100% FS阀类型：常闭阀接液材质：SUS316L、耐臭氧特种高分子、Au 金密封件全阶响应：1s工作压差：50‑300kPa，可选择低压差版本耐压：1MPa (G)氦检漏：1×10⁻¹¹Pa・m³/sec通讯：EtherCAT / DeviceNet 二选一供电：24VDC工作环境：5‑50℃，20‑80% RH 无凝露

各型号区分

OZ‑1‑010：10SCCM，臭氧专用OZ‑1‑050：50SCCM，臭氧专用OZ‑1‑500：500SCCM，臭氧专用OZ‑1‑1K：1000SCCM，臭氧专用OZ‑1‑5K：5000SCCM，臭氧专用OZ‑1‑10K：10SLM，臭氧专用OZ‑1‑20K：20SLM，臭氧专用OZ‑1‑50K：50SLM，臭氧专用

应用场景

半导体臭氧清洗工艺；臭氧 CVD 成膜；氧化物薄膜制备；第三代半导体；MEMS 器件制造；单台臭氧发生器多路分流供气；臭氧相关研发实验平台。
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