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产品型号
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经销商 -
更新时间
2026-07-28 -
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产品描述
MIYUKI 美幸辉 BH-I150 两段式气动真空蝶阀 150A ISO 法兰两段缓冲气动真空蝶阀,适配欧美大中型量产真空镀膜、半导体工艺腔体、锂电真空产线。双气缸三工位结构实现缓抽、缓破空与大通流抽排气,替代通断蝶阀搭配旁路针阀方案,抑制大口径管路气流冲击,保护大面积晶圆与光学组件;超薄高流导阀体搭配标准 ISO 法兰,适用于大型真空设备新机配套与欧美进口产线改造替换
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