品牌	MIYUKI/美幸辉	种类	其他
压力环境	低压	工作温度	常温
流动方向	单向	零部件及配件	阀体
类型(通道位置)	直通式	3C阀门类别	工业
应用领域	化工,电子/电池,半导体,机械设备

MIYUKI 美幸辉 BH-I50 两段式气动真空蝶阀MIYUKI 美幸辉 BH-I50 两段式气动真空蝶阀

产品定位

BH-I50 为 MIYUKI 美幸辉 BH 系列 50A ISO 标准法兰两段缓冲气动真空蝶阀，适配标准 ISO 大口径量产真空产线、光学镀膜、半导体 PVD 腔体预抽 / 破空管路。双气缸三工位结构实现缓抽、缓破空与大通流抽排气，直接替代进口两段式真空蝶阀，省去旁路针阀配置；超薄高流导阀体，搭载通用 ISO 法兰，适配光学光电、半导体、科研真空等标准化量产设备改造与新建产线。

型号释义

BH-I50

BH：两段双气缸三工位气动真空蝶阀

I：ISO 标准真空法兰

50：公称通径 50A

核心技术参数

品牌：MIYUKI 美幸辉

型号：BH-I50

通径：50A

连接标准：ISO 标准真空法兰

驱动形式：齿轮齿条双气缸气动驱动

工作压力区间：大气压～10⁻⁵Pa

整体内漏率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

阀杆轴封外漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

驱动气源：0.4～0.6MPa 干燥洁净无油压缩空气

过流材质：SUS304 不锈钢，内腔镜面电解抛光

标准密封：FKM 氟橡胶 O 型圈；可选 Kalrez 全氟醚密封

安装方式：无角度限制，水平、垂直、倒置均可安装

信号配置：标配限位微动开关，反馈阀门位置信号，对接 PLC 时序控制

产品核心特点

两段开度缓冲控制（核心优势）
双气缸三工位结构，0~45° 半开角度外置旋钮无级调节。腔体预抽、破空阶段小开度缓冲，避免气流冲击造成工件、膜层破损；达到目标真空度切换全开快速抽气，精简管路布局，省去旁路微调针阀。
气缸内置气垫缓冲
紧凑型气缸自带末端空气缓冲，降低启闭冲击、运行噪音小，减少密封件疲劳损耗，延长阀门使用寿命。
超薄阀体，高流导
面间尺寸紧凑，同口径下流通性能优异，缩短腔体抽真空时长，提升设备稼动率。
洁净低析出结构
内腔光滑，低发尘、低气体析出，满足光学镀膜、半导体工艺等高洁净真空需求。
ISO 标准法兰通用性强
通用 ISO 法兰标准规格，适配绝大多数进口、国产真空镀膜产线管路改造。
自动化适配便捷
实时反馈阀门全开 / 全关位置信号，轻松接入真空产自动化控制系统。

典型应用场景

✅ 光学光电：光学薄膜蒸镀、镜头真空镀膜、OLED 真空制程腔体预抽破空管路

✅ 半导体行业：晶圆 PVD 溅射、等离子清洗、薄膜沉积腔体预抽管路

✅ 科研真空：高真空实验舱、真空样品测试平台、真空表面分析设备

✅ 进口设备替换：直接替代进口产线原装两段式真空蝶阀

✅ 新能源：真空涂层、锂电真空干燥预抽管路

使用注意事项

1. 驱动气源必须使用干燥洁净压缩空气，建议配套气源过滤调压组件；

2. 介质避免大量粉尘颗粒物，防止划伤密封面引发泄漏；

3. 高温、等离子、强腐蚀工况可选 Kalrez 全氟醚密封；

4. 定期巡检，周期性更换 O 型密封圈；

5. 如需连续线性压力调节，可选 BAR/BAZ 电动调节蝶阀系列。

BH 系列完整型号清单

BH-J（JIS 日标法兰）

BH-J25、BH-J40、BH-J50、BH-J65、BH-J80、BH-J100、BH-J150、BH-J200、BH-J250、BH-J300、BH-J350

BH-I（ISO 真空法兰）

BH-I25、BH-I40、BH-I50、BH-I65、BH-I80、BH-I100、BH-I150、BH-I200、BH-I250、BH-I300、BH-I350

BH-N（KF/NW 快装法兰）

BH-N25、BH-N40、BH-N50、BH-N65、BH-N80、BH-N100、BH-N150、BH-N200、BH-N250、BH-N300、BH-N350

BH-C（CF 超高真空刀口法兰）

BH-C25、BH-C40、BH-C50、BH-C65、BH-C80、BH-C100、BH-C150、BH-C200、BH-C250、BH-C300、BH-C350

备注：原厂 BH 系列最大通径 350A，无 400A 规格；400A 仅 B 系列通断蝶阀提供。

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产品定位

型号释义

核心技术参数

产品核心特点

典型应用场景

使用注意事项

BH 系列完整型号清单

BH-J（JIS 日标法兰）

BH-I（ISO 真空法兰）

BH-N（KF/NW 快装法兰）

BH-C（CF 超高真空刀口法兰）

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