简要描述：CMP设备DIT东日技研ASG-A230FU超薄离子风棒东日技研（DIT）ASG-AFU系列是一款一体化内置脉冲交流（Pulsed AC）超薄型离子棒。它专为超近距离（10-300mm） 的精密静电消除而设计，核心优势在于能在极近的距离内提供稳定的离子平衡偏移电压及快速的静电消散性能，能有效抑制微尘吸附与ESD损伤。

CMP设备DIT东日技研ASG-A230FU超薄离子风棒CMP设备DIT东日技研ASG-A230FU超薄离子风棒
📦 一、产品定位：超近距离专用的超薄型离子棒

⚙️ 二、核心技术

ASG-AFU系列采用脉冲交流（Pulsed AC）电晕放电方式，通过交替输出正负离子来中和静电。

1. 超近距离高效除电
专为超近距离（10-300mm）优化，在极近的距离内即可实现1000V到±30V的静电衰减（<1秒），解决了传统设备在近距场景下性能衰减的痛点。

2. 高精度离子平衡与可调偏移电压
离子平衡稳定在±30V以内，偏移电压≤±35V（测试距离50mm）。通过调节输出电压，可精确控制偏移电压。

3. 气动学喷嘴设计，低耗气量
特殊设计的空气动力学喷嘴，在保证离子效率的同时，可将耗气量降低约60%，对洁净室气流影响极小。

4. 灵活安装与便捷维护
新型支架支持180°旋转安装，适应复杂设备布局。放电针支持一键式更换，并可采用菊花链式连接简化布线。网罩可120°倾斜，便于清洁。

5. 超薄结构
超薄机身设计，提供5cm间距（0.5-3m长度）和6cm间距（0.6-3m长度）两种类型可选，节省安装空间。

📊 三、核心技术规格

📦 四、完整型号列表

ASG-AFU系列通过型号中的数字来区分长度，常见型号及对应长度如下：

注：除上述型号外，还提供其他长度和特殊规格的定制服务。标准配件通常不包含支架和电源线，需要根据实际安装环境单独选配。

🏭 五、核心应用场景

• 半导体与电子制造：用于CMP设备出口、晶圆搬运机械臂、FPC及微型元件贴合工位，在超近距离消除静电，防止微粒吸附。

• 精密组装：在微型马达、镜头模组、传感器的组装过程中，防止静电吸附和击穿。

• 新能源与电池：用于极片、电芯组装环节，防止静电火花，提升生产良率。

• 印刷与包装：在薄膜、标签高速分切时消除静电，减少褶皱和套印不准。

• 无尘车间：适用于狭小工位、设备内部的嵌入式除静电。

💡 六、选型与使用要点

• 长度与间距选择：根据设备宽度选择型号，ASG-AFU系列覆盖448mm至3028mm，支持5cm或6cm间距定制。

• 气源要求：需接入CDA或N₂，气压控制在0.05~0.3MPa，单针耗气量仅2L/min。

• 安装与维护：专用支架支持180°旋转安装，放电针支持一键式更换，并可进行菊花链式连接以简化布线。

• 标准配件：标准包装不包含支架和电源线，需要根据实际安装环境单独选配。

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