简要描述：DIC迪爱生 超纯水防静电装置 单模组机架式它利用DIC自研的中空纤维透气膜，通过向超纯水中精准溶解二氧化碳（CO₂）来调节水的电阻率，从而有效防止因静电引起的颗粒二次吸附及精细电路击穿。

DIC迪爱生  超纯水防静电装置 单模组机架式置DIC迪爱生  超纯水防静电装置 单模组机架式
💡 核心技术：脱气与防静电一体化

eFLOW装置的核心在于其中空纤维透气膜（SEPAREL®） 技术，在一台设备内实现了两大关键功能：

1. 深度脱气：超纯水在中空纤维膜内部流动，膜外侧抽真空，可脱除水中的溶解氧（O₂）和多余CO₂，避免清洗时产生气泡针孔或水印缺陷。

2. 精准控电阻率（防静电）：膜外侧通入高纯CO₂，气体透过膜壁溶解进水中并发生电离，提升水的导电性以导出静电。通过调节CO₂饱和水与超纯水的混合比例，可将电阻率稳定控制在 0.1～15 MΩ·cm 区间内。

📊 完整型号列表：P系列与C系列

eFLOW系列根据安装方式主要分为P系列（面板机架式） 和C系列（独立机柜式）。

其他型号：DIC还提供低电阻率型（0.05～0.25 MΩ·cm）、小型/电气分离型以及支持100 L/min的大流量定制型号。

⚙️ 核心技术规格（以P系列1AP为例）

• 电阻率控制范围：0.1 ~ 15 MΩ·cm（连续可调）

• 液体主接口：Rc3/4 内螺纹（高纯洁净接头）

• 工作水温：5 ~ 40℃

• 适用水压：0.1 ~ 0.3 MPa

• 接液材质：PP + 高纯PTFE氟树脂，无金属析出

• CO₂供气模组寿命：保证期限5年（DIC自社制造）

• 安装尺寸 (1AP)：宽480×深432×高350 mm

🏭 应用场景

主要用于半导体与面板制造的湿法清洗环节，包括：

• 半导体：晶圆切割（Dicing）清洗、光罩/掩模版清洗、Scrubber刷片清洗、槽式湿法清洗。

• 面板/显示：玻璃基板高压喷淋清洗、CELL段水洗。

• 精密电子：PCB线路清洗、微型器件超声水洗。

🎯 选型建议

• 小流量精密清洗（1-16 L/min）：选 eFLOW 1AP-B02（机架式）或 1AC-P201（带传感器机柜式）。

• 主流产线（5-30 L/min）：选 eFLOW 2AP-B01 或 2AC-P201，双模组设计兼顾效率与稳定性。

• 大流量需求（10-50 L/min）：选 eFLOW 3AP-B01 或 3AC-P201，满足高吞吐量清洗槽。

• 需要直接连接使用点：C系列（P201）内置比电阻传感器，反馈控制更直接。
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