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| 品牌 | SIMCO/思美高 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 半导体 |
SIMCO思美高AeroBar5225离子棒脉冲DCSIMCO思美高AeroBar5225离子棒脉冲DC
Model 5225可轻松集成到工艺设备中，使用预编译程序或开源代码示例，与设备接口的无缝集成不仅降低了离子化解决方案的成本，还带来了维护成本降低和报警处理更优的收益。
AeroBar 5225定位于半导体工艺设备内部（In-tool）的在线静电消除。与固定安装的独立离子棒不同，5225通过接口模块与设备控制系统深度集成，每个离子棒的参数均可通过软件独立调整，离子电流实时监测，系统报警和消息在设备控制器上显示，也可通过简单的FMS报警输出进行通知。该产品特别适用于EFEM（设备前端模块）、半导体加工设备、平板显示工艺设备、生物医学工作站和洁净工作台等ISO Class 2或更高等级的微型环境。
AeroBar 5225采用脉冲DC（Pulsed DC） 工作模式，同时支持稳态DC和待机模式。全数字电路控制实现了更稳定的离子产生和长期离子平衡。每个离子棒的输出电压（0-20 kVDC）和正负极性可分别通过GUI独立调整，离子发射电流被独立调节以实现输出和平衡稳定性。
脉冲DC方式的大范围除电能力是5225的核心优势之一。通过在除电目标附近设置传感器（可选），系统能够实时监测离子电流并自动调整输出，确保晶圆表面的电荷被快速中和。
完整集成到设备控制系统：支持预编译程序和开源代码示例，通过RS-485与接口模块通信，可轻松集成到现有设备控制系统中
每个离子棒参数可调：输出电压、正负平衡、脉冲频率、开关时序均可通过IonMonitor软件GUI或设备控制器独立调整
离子电流监测：实时监测离子发射电流，具备预测性维护的阈值报警功能
多种长度可选：提供8种标准长度，包括3种专为EFEM设计的规格
单晶硅发射器：采用行业最洁净的发射器材料，无掺杂剂或金属污染晶圆的风险
超净洁净度：满足ISO 14644 Class 1（Fed Std. 209E Class 1）洁净度要求
低臭氧排放：臭氧产生量＜0.005 ppm
EMI低于背景水平：不会对周边精密设备产生电磁干扰
AeroBar 5225系统由离子棒（5225） 和接口模块（5200-IM6T） 组成。5225提供8种标准长度，其中3种为EFEM专用规格。
| 型号 | 长度（英寸） | 长度（厘米） | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| 5225-22 | 22.4 | 56.9 | EFEM专用，紧凑工位 |
| 5225-28 | 28.4 | 72.1 | EFEM专用，标准工位 |
| 5225-36 | 35.7 | 90.7 | EFEM专用，宽幅工位 |
| 5225-44 | 44.4 | 112.8 | 标准长度，中型设备 |
| 5225-56 | 55.6 | 141.2 | 标准长度，大型设备 |
| 5225-64 | 64.4 | 163.6 | 标准长度，大型设备 |
| 5225-76 | 75.5 | 191.8 | 标准长度，超大型设备 |
| 5225-84 | 84.4 | 214.4 | 标准长度，超大型设备 |
接口模块：5200-IM6T，支持并供电至最多6个AeroBar，输入电压24 VDC，具备FMS输出。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 输入电压 | 24 VAC，50/60 Hz，1W（典型），由接口模块5200-IM6T供电 |
| 输出电压 | 0-20 kVDC，±10%，每个极性可独立调整 |
| 输出电流 | ＜15 μA，电流和电压受限 |
| 控制信号 | RS-485，来自接口模块 |
| 连接器 | RJ-11模块化插座 |
| 工作模式 | 脉冲DC、稳态DC或待机 |
| 时序设置 | 正负极性开关时序可设0-10秒，0.1秒增量 |
| 发射器 | 单晶硅，可更换 |
| 洁净度 | ISO 14644 Class 1（单晶硅发射器） |
| 臭氧产生量 | ＜0.005 ppm |
| EMI | 低于背景水平 |
| 尺寸 | 2.1"H × 1.2"W × 22.4～84.4"L（5.3 × 3.1 × 56.9～214.4 cm） |
| 重量 | 1.13 lb（0.51 kg）@ 22英寸棒体 |
| 行业 | 具体场景 |
|---|---|
| 半导体前道制造 | EFEM设备前端模块的晶圆静电消除 |
| 半导体后道封装 | 后端半导体处理设备的在线静电控制 |
| 平板显示 | FPD工艺设备内部的静电消除 |
| 生物医学 | 生物医学工作站和洁净工作台的静电控制 |
| 超净环境 | ISO Class 2及以上微型环境的在线离子化 |
| 需求场景 | 推荐型号 |
|---|---|
| EFEM设备前端模块 | 5225-22 / 5225-28 / 5225-36 |
| 中型工艺设备 | 5225-44 |
| 大型工艺设备 | 5225-56 / 5225-64 |
| 超大型设备 | 5225-76 / 5225-84 |
| 需要软件控制和设备集成 | 5225 + 5200-IM6T接口模块 |
| 独立使用，无需设备集成 | 5225S（独立数字离子棒） |
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