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| 品牌 | SIMCO/思美高 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 半导体 |
产品定位
SIMCO-ION思美高AeroBar® 5710 FPD是一款采用μWire(微线)技术的高性能离子棒,专为平板显示(FPD)制造中的大面积、敏感面板静电消除而设计。它采用微脉冲高压技术(MicroPulse) 配合连续钨丝电极,取代了传统针尖放电结构,能够在低电位摆动的前提下实现快速静电消除,特别适用于G8/G10等高世代面板产线中薄膜、玻璃基板的均匀除静电需求。
SIMCO思美高 AeroBar 5710 FPD半导体离子棒SIMCO思美高 AeroBar 5710 FPD半导体离子棒
传统静电消除器使用离散的钨针(针尖放电),针与针之间离子密度不均,大型薄膜工件局部区域可能除静电不。AeroBar 5710采用连续细钨丝(80微米直径) 替代离散针尖,等效形成无数密集放电点,使离子分布接近线性均匀,特别适合要求高均匀度的FPD薄膜制程。
同时,微脉冲高压技术减少了电晕丝处的离子复合,从而提高了产品效率和使用性能。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | AeroBar® 5710 FPD |
| 输入电压 | 24 VDC ±10%,12W(最大) |
| 输出电压 | 可调,13 kV pk-pk(典型值) |
| 消散时间 | <1.5秒(±1000V至±100V,@30cm,50mm气嘴间距,最小CDA 2 lpm/气嘴) |
| 离子平衡 | 固有自平衡系统,整根杆长度范围内 <±25V;无需清洁可保持平衡设定超过6个月 |
| 离子发射方式 | 微脉冲(μPulse)技术 |
| 发射极 | 钨丝,80微米直径(无发射针) |
| 洁净室等级 | ISO 14644-1 Class 2(优于Fed. Std. 209E Class 1) |
| 气嘴间距 | 50mm(推荐目标距离≤600mm)或75mm;可选直喷或左右交替斜喷 |
| 供气要求 | CDA/氮气,2–6 L/min/孔 |
| 工作距离 | 约50–1500mm(视规格要求而定) |
| 臭氧产生量 | <0.05 ppm |
| 尺寸 | 76mm H × 33mm W × 400–3000mm L |
| 材质 | ABS树脂 / SUS |
| 认证 | CE、RoHS |
参数来源:
离子棒型号编码规则:
完整订购型号格式为 91-5710 [A/B] - [长度] - [气嘴间距] - [线缆长度]
| 字段 | 含义 | 可选值 |
|---|---|---|
| 91-5710 | 系列编号 | — |
| A | 气嘴类型 | A=直喷型,B=左右交替斜喷型 |
| 长度 | 棒体长度 | 400 / 500 / 650 / 750 / 900 / 1000 / 1150 / 1250 / 1400 / 1500 / 1650 / 1750 / 1900 / 2000 / 2150 / 2250 / 2400 / 2500 / 2650 / 2750 / 2900 / 3000 mm |
| 气嘴间距 | 气嘴间距 | 50(50mm)或 75(75mm) |
| 线缆长度 | 标配线缆 | 03=3m |
示例型号: 91-5710A-500-50-03,即:μWire AeroBar 5710、直喷型、长度500mm、气嘴间距50mm、配3m线缆。
可选长度共22种,从400mm到3000mm,覆盖从小型工位到大型FPD产线的广泛需求。
配套电源:
| 型号 | 说明 |
|---|---|
| 4012509 | 5710系列专用高压电源,DC 24V输入,8kV输出(Hybrid模式)/ 7kV(Speed模式) |
| 行业 | 具体场景 |
|---|---|
| 平板显示(FPD) | G8/G10高世代面板产线中玻璃基板传送、薄膜贴合、狭缝涂布、装卸盒近距除静电 |
| 电子组装 | PCB/FPC、光学组件、精密装配线的静电防护 |
| 光掩膜制造 | 光掩膜制程中的静电消除 |
| 半导体后道 | 半导体后道工艺中的静电控制 |
参数来源:
气源要求:需提供清洁干燥空气(CDA)或氮气,每孔流量2–6 L/min,工作压力最大0.63 MPa。
安装距离:气嘴间距50mm时推荐目标距离≤600mm;间距75mm适用于更远距离。
维护周期:钨丝电极设计使维护周期大幅延长,无需清洁即可保持平衡设定超过6个月。
接地要求:所有安装夹和支架必须连接至低阻抗接地,避免导电标签贴在离子棒机身上。
安全警告:通电时严禁清洁电晕丝,否则可能导致污染和电击风险。
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