简要描述：NFK南国工业NK-2300KF柔性金属真空型软管是 NFK 南国工业面向半导体、真空设备开发的高真空配管柔性连接件，出厂全部经过**氦质谱检漏**，极低泄漏率；用于真空管路补偿安装错位、吸收真空泵振动、补偿热胀冷缩位移；分为 KF 快拆法兰、JIS 真空法兰、管端焊接三种接头版本，适配高真空、前级真空各类设备管路。

产品核心特点

1. 超高气密性，严格氦检出厂允许泄漏率≤1.33×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，满足高真空、超高真空工况；波纹管一体成型全 TIG 熔焊，无渗漏缝隙，负压状态波纹管不会塌陷变形，维持真空系统稳定。

2. CLT 超柔波纹管可选采用 CLT 超柔性波纹结构，弯曲反作用力小，在狭小设备内部易于布置；可吸收轴向、横向、角向位移；严禁软管承受扭转变形。

3. 三种接头形式，覆盖主流真空标准

• NK‑2300KF：ISO‑KF 快拆卡箍法兰，拆装便捷；

• NK‑2300V：JIS VG‑VF 日系真空配对法兰，适配日系半导体设备；

• NK‑2300PT：管端焊接式，现场直接对接管路焊接。

4. 洁净材质可选，适配半导体无尘车间波纹管标准 SUS304，可升级 SUS316L，可选内壁电解抛光（低金属析出）；适配 Class 洁净室，用于工艺气体、真空排气管路。

5. 长度可定制标准长度 100‑3000mm，超长规格可协商订货。
   NFK南国工业NK-2300KF柔性金属真空型软管NFK南国工业NK-2300KF柔性金属真空型软管
   

技术规格

表格

                                       各子型号口径

1. NK‑2300KF（KF 快拆法兰）KF10、KF16、KF25、KF40、KF50

2. NK‑2300V（JIS 真空法兰 VG‑VF）10A、15A、20A、25A、32A、40A、50A、65A、80A、100A

3. NK‑2300PT（管端焊接型）3A‑100A

型号命名示例：NK‑2300KF‑CLT‑SUS316L‑KF40‑800L；后缀 L 代表软管总长。

应用场景

• 半导体设备：PVD、CVD、刻蚀机，分子泵、干式泵进出口减振柔性连接

• 真空镀膜、溅射设备腔体抽气支管

• SEM、探针台等分析仪器真空管路

• 真空烧结炉、扩散炉热胀冷缩位移补偿

• 科研实验真空系统、锁气室 Load‑lock 管路

安装与使用注意事项

1. 软管仅允许补偿轴向、横向、角向偏移；严禁施加扭转力矩，不能依靠软管校正管路错位。

2. 长软管必须配置导向支撑支架，防止自重拉扯波纹管。

3. 真空系统运行，按照工艺要求进行烘烤除气。

4. 本系列为真空专用软管，不能用于消防管路，消防选用 Type‑FF (NK‑9500)。