简要描述：MKS 美国 G‑Series G 系列质量流量控制器通用型弹性体密封质量流量控制器，适用于多种应用。GE250A的满量程范围为100至250标准流明（氮气当量），GE300A的满量程范围为150至300标准流明（氮气当量）。两款产品均可选配模拟I/O或数字I/O，并采用新的控制算法，可快速、可重复地响应设定值。

产品概述

MKS G 系列是面向半导体、光伏、等离子工艺的经济高效型热式气体质量流量控制器产品线，共分5 个子系列、合计 47 款产品。采用热式传感 + 新一代数字化控制算法，实现快速、可重复的流量闭环控制；数字标定保证校准气体下精度达设定值 ±1%，典型响应时间约 500ms，适配短流程工艺；沿用行业标准 3 英寸安装底座，可直接替换老款 1179A 系列而不改动气路管路；同时兼容模拟与 EtherCAT、PROFINET、DeviceNet、Profibus、RS485 等主流数字总线，兼顾新装机与老设备改造。MKS
MKS 美国 G‑Series G 系列质量流量控制器MKS 美国 G‑Series G 系列质量流量控制器

G 系列 5 个子系列明细

1. GE50A｜弹性体密封式 5‑50000 sccm（25 款）橡胶弹性密封圈，通用基础主力型号；适配 N₂、Ar、He、O₂、H₂等惰性、弱反应工艺气体；性价比高、应用。

2. GM50A / GM51A｜金属密封式 5‑50000 sccm（17 款）全金属硬密封结构，无橡胶渗透路径，外漏极低；适配 Cl₂、BCl₃等卤素腐蚀性气体，高纯高洁净半导体工艺优先选用。

3. GV50A｜弹性体密封式 5‑50000 sccm，带截止阀（1 款）在原 MFC 阀体上集成一路独立截止阀，实现双重关断，适合对气路安全切断有额外要求的工位。

4. GM100A｜金属密封式 50‑100 slm（1 款）大流量金属密封机型，兼顾大流量与耐蚀低漏率，适配大流量腐蚀性工艺气体。

5. GE250A / GE300A｜弹性体密封式 100‑300 slm（3 款）超大流量弹性密封版本，用于大流量惰性、弱腐蚀气体通路。

产品共同核心特点

1. 数字化控制，多气体多量程切换内置多组气体标定参数，现场即可切换气体与量程，无需返厂重新标定；校准气体下精度 ±1% 设定值，提高机台间工艺匹配一致性（Chamber Matching）。

2. 快速响应，提升工艺节拍典型响应时间约500ms（GM50A 实时反馈控制约 600‑800ms 区间）；流量稳定速度快，缩短工艺等待时间，适配短流程、快速切换配方。

3. 丰富通讯，兼容各类控制系统模拟信号：0‑5VDC、4‑20mA；数字通讯：EtherCAT、PROFINET、DeviceNet、Profibus、RS485；并内置 Modbus 辅助通讯（PROFINET 版除外）；I/O 设计可直接替代早期 RS485/Profibus/DeviceNet 旧型号，机身自带按键与 LED 状态指示，本地调零便捷。

4. 标准 3 英寸底座，免改管路统一 3 英寸安装基准尺寸，可直接替换同底座旧机型，无需重新开孔改管路；管路接头可选 4‑VCR、卡套等，金属密封版适配高纯气路。

5. 高精度高稳定性指标

控制范围 2%‑100% FS；精度 20‑100% FS 为设定值 ±1%、2‑20% FS 为满量程 ±0.2%重复性 ±0.3% 读数；分辨率 0.1% FS爆破压力 1500 psig；接液材质 316L 不锈钢零位温度系数 < 0.05% FS/℃，跨度温度系数 < 0.08% 读数 /℃，入口压力系数 < 0.02% 读数 /psi，长周期运行漂移低

6. 嵌入式自诊断功能内置诊断软件，无需拆下 MFC 即可在线检查设备功能，减少 "更换" 造成的机台停机，提升设备综合利用率。

规格参数汇总（GE50A/GM50A 基准）

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                                                GE50A 与 GM50A 选型对比

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                     适用行业场景

光伏扩散炉管与 PECVD 镀膜设备；半导体辅助气路与工艺气体控制；等离子清洗、气相沉积设备；实验室 CVD 气相工艺；旧机台原有 1179A 系列 MFC 升级替换改造项目。