简要描述：MKS 美国C系列紧凑型超快速质量流量控制器结构紧凑、响应迅速的型号，采用基于微机电系统（MEMS）的流量传感器，适用于非腐蚀性气体应用。该设备满量程流量范围为14000 sccm至50000 sccm（氮气），控制范围从满量程的0.1%到100%，也可作为流量计使用。提供模拟（0至5 VDC）或数字（RS485、PROFINET®或Modbus TCP/IP）通信接口。所需电源电压为标称24 V

产品概述

MKS C‑Series（C 系列）紧凑型超快速 MFC，采用MEMS 微机电流量传感芯片，区别于传统热丝式流量传感器；整机机身超薄小巧，实现小于 100ms 的超短响应时间，动态控制范围宽；产品线分为 CMA10B、CMA50A，同时还提供 MFM 仅流量测量版本；适合空间受限的紧凑型气路面板，主要面向非腐蚀性工艺气体的精密流量控制，广泛用于半导体设备、真空镀膜、实验室气相工艺场景MKS。
MKS 美国C系列紧凑型超快速质量流量控制器MKS 美国C系列紧凑型超快速质量流量控制器

C 系列主要子型号

1. CMA10B量程：15‑14000 sccm（氮气等效）；中小流量机型；同时有 MFC 控制版与 MFM 流量计版本。

2. CMA50A量程：14000‑50000 sccm；大流量紧凑型机型；维持紧凑机身的同时覆盖更高流量区间。

产品核心特点

1. MEMS 微传感，超高速响应低热容 MEMS 固态传感器，响应时间＜100ms；流量跟随速度快，适合短脉冲、快速切换的工艺配方；固态传感器抗冷凝、抗颗粒物、耐压力冲击与振动，现场抗干扰能力更强MKS。

2. 极宽动态控制区间控制范围可达0.1%‑100%FS；在极低流量设定工况下依旧可以实现可控输出，小流量控制性能优于传统 MFC。

3. 高精度，零点漂移小设定精度可达±0.8% 设定值；零点与量程漂移很低，设备长期连续运行，工艺重复性稳定。

4. 超紧凑超薄机身设计机身厚度仅 1 英寸（25.4 mm），高度小于 111.8 mm；支持表面贴装（下装式 Down‑Mount）安装，便于搭建高密度紧凑型气体分配面板，节省气路柜内部空间；接头可选 4‑VCR 外螺纹、1/4 英寸卡套密封接口，也可兼容部分老机型直接替换。

5. 网页内置诊断调试功能设备自带嵌入式网页服务；电脑浏览器即可直接访问，完成参数设置、故障诊断，无需额外安装专用调试软件。

6. 丰富通讯方式，供电 DC24V模拟信号：0‑5VDC；数字通讯：RS485、PROFINET、Modbus‑TCP；供电统一 DC24V，适配现代设备供电体系。

规格参数

• 量程（N₂等效）：CMA10B：15‑14000 sccmCMA50A：14000‑50000 sccm

• 响应时间：＜100 ms

• 控制动态范围：0.1%‑100% FS

• 控制精度：±0.8% 设定值

• 供电电源：DC24V

• 机身厚度：25.4 mm（1 英寸）

• 最大入口压力：80 psig

• 试验耐压：232 psi；爆破压力 1000 psi

• 密封材质：弹性体 Viton 密封圈；适用于非腐蚀性气体，不适合强腐蚀卤素气体

• 接液材质：316L 不锈钢

• 工作环境温度：10‑50℃

适用气体与选型提示

✅适用气体：N₂、Ar、He、O₂、H₂等惰性、非腐蚀性工艺气体；⚠️注意：本系列为弹性密封，不能用于 Cl₂、BCl₃等强卤素腐蚀性气体；腐蚀性工况优先选用 P 系列金属密封机型。

适用行业场景

半导体设备紧凑型气路面板；真空镀膜、等离子处理；质谱分析设备；生物反应器气体供给；实验室 CVD 气相工艺；设备 OEM 高密度气路集成改造。