简要描述：NMS 野村微科学超纯水装置 HC / HCPS 滤芯超纯水抛光循环回路、机台分配支管末端过滤、半导体清洗供水终端保护、面板湿制程精密过滤。

HC 滤芯（经济型 PP 预过滤滤芯）

产品概述

HC 是全聚丙烯结构的经济型熔喷式过滤芯，定位为纯水系统前置预处理过滤耗材，主打高性价比，用于拦截大颗粒杂质、胶体与细菌，保护后端 EDI、抛光树脂、精密终端膜元件，降低后端滤芯的更换频率，控制厂务运行成本

基础规格

• 滤材 & 外壳：全部聚丙烯 PP 材质，热熔成型，无粘接剂析出风险

• 标准型号孔径：HC‑40（0.4μm）、HC‑100（1.0μm）、HC‑300（3.0μm）

• 使用条件：最高温度 80℃（0.1MPa 工况）；21℃最大耐压 0.5MPa

• 定位：粗‑中效预过滤，出厂不做超纯水深度漂洗，初次通水会有少量 TOC 析出，不能直接用于晶圆终端供水

产品优势

1. 通体 PP 材质，耐酸碱双氧水，耐温性能优秀

2. 价格经济，适合大流量前端保护过滤

3. 纳污容量高，压差上升平缓，使用寿命长

4. 可耐受在线高温循环消毒

典型应用场景

纯水系统预处理段、RO 膜前保护、抛光混床上游过滤、一般工业纯水循环管路，作为第一道颗粒拦截屏障。

HCPS 高纯终端折叠滤芯

产品概述

HCPS 属于半导体级高纯折叠精密滤芯，滤材采用 PES 聚醚砜膜，出厂前已经完成超纯水充分预冲洗，新装后通水初期即可实现低 TOC、低颗粒物出水，专门用于纯水 / 超纯水系统后端终端精过滤，直接保护湿制程供水品质野村マイク...。

基础规格

• 中心杆 / 端盖：聚丙烯；过滤膜：PES 聚醚砜

• 过滤精度：固定 0.2μm；长度规格：10 英寸（HCPS‑020‑10）、20 英寸（HCPS‑020‑20）、30 英寸（HCPS‑020‑30）

• 使用条件：最高耐温 80℃；21℃耐压 0.55MPa，耐压能力优于 HC 系列

• 工艺特点：工厂高纯漂洗处理，降低初次冲洗耗水量，缩短产线开机调试时间

产品优势

1. PES 折叠膜过滤面积更大，相同流量下压降更低

2. 出厂超纯水预漂洗，开机无需长时间冲洗即可满足半导体水质标准

3. 颗粒截留精度更高，抑制微生物穿透，保障终端水质稳定

4. 优秀耐化学性，适配双氧水、高温循环消毒工况

典型应用场景

超纯水抛光循环回路、机台分配支管末端过滤、半导体清洗供水终端保护、面板湿制程精密过滤。

HC 与 HCPS 选型区别总结

1. 材质差异：HC 全 PP 熔喷；HCPS 采用 PES 折叠微孔膜

2. 过滤等级：HC 为前置粗中效；HCPS 是 0.2μm 终端精密过滤

3. 高纯处理：HC 无出厂漂洗；HCPS 出厂完成超纯水预冲洗，低 TOC 启动

4. 使用位置：HC 放在系统前段保护；HCPS 放在超纯水后端 / 机台终端

5. 成本策略：HC 适合大量前置耗材替换；HCPS 用于关键制程水质保障

NMS 野村微科学超纯水装置 HC / HCPS 滤芯NMS 野村微科学超纯水装置 HC / HCPS 滤芯