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| 品牌 | NGK | 应用领域 | 半导体 |
|---|
MEGCONⅡ+ 由NGK‑FILTECH（日本碍子 NGK 集团）研发制造，属于碳酸膜溶解式超纯水防静电设备，专门解决半导体、显示面板精密湿法清洗中超纯水带电引发的 ESD 击穿、微粒二次吸附等工艺缺陷。
原生超纯水电阻率可达 18.2 MΩ・cm，绝缘特性导致喷淋、刷洗时持续积聚静电；MEGCONⅡ+ 利用中空纤维膜将高纯 CO₂可控溶入水中生成弱碳酸，精准调节水体导电能力，从清洗水源源头消除静电。后端脱气即可去除 CO₂，水质恢复超纯水标准，全程无有机物、无杂质析出，是制程主流洁净防静电方案。
膜式气体溶解：特殊中空纤维膜组件实现高纯 CO₂渗透溶解，反应生成碳酸：\(\boldsymbol{CO_2+H_2O \rightleftharpoons H_2CO_3 \rightleftharpoons H^+ + HCO_3^-}\)
PRC 闭环电阻率自动控制：高精度传感器实时监测出水电阻率，控制器自动调节 CO₂供气阀门；流量、水压波动时快速补偿，稳定锁定目标电阻率区间
可逆无污染：碳酸仅临时提升水体导电性，后端脱气工序即可去除二氧化碳，不会污染超纯水系统
PRCⅡ+ 系列（内置供气泵）：自带 CO₂供给泵，无需厂区集中 CO₂管路，单机独立运行，适合产线单点设备改造
FRCⅡ+ 系列（外部气源）：外接工厂集中 CO₂供气管道，适合多条产线集中供气，大规模工厂降本部署
后缀命名说明：ACD = 落地柜式；AD=19 英寸机架式；‑S = 高配机型（声光报警灯、蜂鸣器、移动脚轮）
表格
| 完整型号 | 最大流量 | 电阻率控制区间 | 外形规格 |
|---|---|---|---|
| PRCⅡ+‑1000ACD /‑S | 1000 L/h | 0.2～2.0 MΩ·cm | 立式落地柜 |
| PRCⅡ+‑1200ACD /‑S | 1200 L/h | 0.1～0.5 MΩ·cm | 立式落地柜 |
| PRCⅡ+‑2000ACD /‑S | 2000 L/h | 0.2～2.0 MΩ·cm | 立式落地柜 |
| PRCⅡ+‑1220ACD /‑S | 2000 L/h | 0.15～1.0 MΩ·cm | 立式落地柜 |
| PRCⅡ+‑2040ACD /‑S | 4000 L/h | 0.2～2.0 MΩ·cm | 大流量落地柜 |
表格
| 完整型号 | 最大流量 | 电阻率控制区间 | 安装方式 |
|---|---|---|---|
| PRCⅡ+‑1000AD | 1000 L/h | 0.2～2.0 MΩ·cm | 19 英寸机柜 |
| PRCⅡ+‑1200AD | 1200 L/h | 0.1～0.5 MΩ·cm | 19 英寸机柜 |
| PRCⅡ+‑2000AD | 2000 L/h | 0.2～2.0 MΩ·cm | 19 英寸机柜 |
| PRCⅡ+‑1220AD | 2000 L/h | 0.15～1.0 MΩ·cm | 19 英寸机柜 |
表格
| 完整型号 | 最大流量 | 电阻率控制区间 | 安装方式 |
|---|---|---|---|
| FRCⅡ+‑1000AD | 1000 L/h | 0.2～2.0 MΩ·cm | 19 英寸机柜 |
| FRCⅡ+‑1200AD | 1200 L/h | 0.1～0.5 MΩ·cm | 19 英寸机柜 |
| FRCⅡ+‑2000AD | 2000 L/h | 0.2～2.0 MΩ·cm | 19 英寸机柜 |
| FRCⅡ+‑1220AD | 2000 L/h | 0.15～1.0 MΩ·cm | 19 英寸机柜 |
闭环精准控阻：流量波动工况快速响应，电阻率长期稳定，保障每一批次清洗工艺一致性
超低洁净污染风险：接液部件采用高纯耐腐材质，微粒析出极低，适配优良纳米制程
低压损、低耗材成本：水路压力损失小，CO₂气体消耗量低，长期运行成本优于 IPA 化学添加方案
智能化人机管理：触控显示屏、运行日志、故障报警，支持 RS‑485 通讯对接工厂 CIM 自动化系统
标准化安全认证：可选 CE 认证版本，适配海外制造产线；柜式 / 机架两种形态灵活适配车间布局
进水水质：超纯水电阻率≥10 MΩ・cm，水温 5~35℃，进水压力≤0.45 MPa
CO₂气源纯度≥99.5%，供气压力 0.1‑0.2 MPa
供电规格：AC100‑240V，50/60Hz
半导体行业：晶圆 Dicing 切割清洗、Scrubber 刷洗、高压喷淋清洗、CMP 后清洗、蚀刻后清洗
显示面板：LCD/OLED 玻璃基板、光掩膜 / Reticle 光罩精密清洗
精密制造：光伏硅片清洗、光学元器件湿法清洗制程
NGK 日本碍子 超纯水碳酸溶解式除静电装置NGK 日本碍子 超纯水碳酸溶解式除静电装置
| MEGCON PRCⅡ+系列机柜 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 模型 | 标准 | 1000ACD | 1200ACD | 2000ACD | 1220ACD | 2040ACD |
| S 型 *1 | 1000ACD-S | 1200ACD-S | 2000ACD-S | 1220ACD-S | 2040ACD-S | |
| 表现 | 最大流量（升/小时） | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 | 4000 |
| 控制范围*2 (MΩ・cm) | 0.2–2.0 | 0.1 至 0.5 | 0.2–2.0 | 0.15–1.0 | 0.2–2.0 | |
| 尺寸 | 标准 | 520宽 x 400深 x 1150高 毫米 | ||||
| S 型 *1 | 520宽 x 400深 x 1415高 毫米 | |||||
| 重量 | 标准 | 65公斤 | 70公斤 | |||
| S 型 *1 | 66公斤 | 71公斤 | ||||
| 接触液体的部件 | 电池（二氧化碳入口）：PP | |||||
| 材料 | 管道：PVC，编织软管 | 管道：PVC | ||||
| 超纯水连接直径 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 1/4 | |||
| 公用事业 | 超纯水 | 压力：正常运行压力≤0.35 MPa（最大压力≤0.45 MPa）/ 温度：5 至 35°C / 水质：电阻率≥10 MΩ·cm | ||||
| 二氧化碳气体 | 压力：0.1–0.2 MPa / 温度：5–35°C / 纯度：99.5% 或更高 | |||||
| 干燥空气 | 无需外接气泵，因为它内置了气泵。 | |||||
| （用于膜干燥） | ||||||
| 电源 | 交流100-240伏（50/60赫兹） | |||||
| 标准配件 | 使用说明书、检验报告。100-120V ：电源线2.8米（带插头）； 200-240V：电源线5米（不带插头）。 | |||||
| MEGCON PRCⅡ+/FRCⅡ+系列机架式 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 模型 | 公元1000年 | 公元1200年 | 公元2000年 | 公元1220年 | |
| 表现 | 最大流量（升/小时） | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 |
| 控制范围*2 (MΩ・cm) | 0.2–2.0 | 0.1 至 0.5 | 0.2–2.0 | 0.15–1.0 | |
| 尺寸 | 480宽 x 355深 x 200高 毫米 | ||||
| 重量 | 15公斤 | ||||
| 接触液体的部件 | 电池（二氧化碳入口）：PP | ||||
| 材料 | 管道：PVC，编织软管 | ||||
| 超纯水连接直径 | 软管喷嘴（适用于内径φ19编织软管） | ||||
| 公用事业 | 超纯水 | 压力：正常运行压力≤0.35 MPa（最大压力≤0.45 MPa）/ 温度：5 至 35°C / 水质：电阻率≥10 mΩ·cm | |||
| 二氧化碳气体 | 压力：0.1–0.2 MPa / 温度：5–35°C / 纯度：99.5% 或更高 | ||||
| 干燥空气 | “PRC"系列：无需气泵，因为它内置了气泵。 | ||||
| （用于膜干燥） | FRC系列：0.1–0.2兆帕 | ||||
| 电源 | 交流100-240伏（50/60赫兹） | ||||
| 标准配件 | 使用说明书、检验报告。100-120V ：2.8米电源线（带插头） 。200-240V：不含电源线（连接至接线端子）。 | ||||
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