简要描述：NGK 日本碍子 超纯水碳酸溶解式除静电装置属于中低电阻率专用机型，兼顾除静电能力与工艺窗口灵活性。采用中空纤维膜渗透溶解高纯 CO₂，临时调节超纯水导电性能，后端脱气即可还原高纯度超纯水，无有机物污染，适配半导体、面板对电阻率区间有中等偏低要求的量产湿法清洗产线。

一、产品概述

MEGCONⅡ+ 由NGK‑FILTECH（日本碍子 NGK 集团）研发制造，属于碳酸膜溶解式超纯水防静电设备，专门解决半导体、显示面板精密湿法清洗中超纯水带电引发的 ESD 击穿、微粒二次吸附等工艺缺陷。

原生超纯水电阻率可达 18.2 MΩ・cm，绝缘特性导致喷淋、刷洗时持续积聚静电；MEGCONⅡ+ 利用中空纤维膜将高纯 CO₂可控溶入水中生成弱碳酸，精准调节水体导电能力，从清洗水源源头消除静电。后端脱气即可去除 CO₂，水质恢复超纯水标准，全程无有机物、无杂质析出，是制程主流洁净防静电方案。

二、工作原理

1. 膜式气体溶解：特殊中空纤维膜组件实现高纯 CO₂渗透溶解，反应生成碳酸：\(\boldsymbol{CO_2+H_2O \rightleftharpoons H_2CO_3 \rightleftharpoons H^+ + HCO_3^-}\)

2. PRC 闭环电阻率自动控制：高精度传感器实时监测出水电阻率，控制器自动调节 CO₂供气阀门；流量、水压波动时快速补偿，稳定锁定目标电阻率区间

3. 可逆无污染：碳酸仅临时提升水体导电性，后端脱气工序即可去除二氧化碳，不会污染超纯水系统

三、产品两大系列区分

1. PRCⅡ+ 系列（内置供气泵）：自带 CO₂供给泵，无需厂区集中 CO₂管路，单机独立运行，适合产线单点设备改造

2. FRCⅡ+ 系列（外部气源）：外接工厂集中 CO₂供气管道，适合多条产线集中供气，大规模工厂降本部署

后缀命名说明：ACD = 落地柜式；AD=19 英寸机架式；‑S = 高配机型（声光报警灯、蜂鸣器、移动脚轮）

四、全型号规格表

🔹柜式机型 PRCⅡ+‑XXXACD

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🔹机架式机型 PRCⅡ+‑XXXAD（自带泵）

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🔹机架式机型 FRCⅡ+‑XXXAD（外接气源）

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五、核心产品优势

1. 闭环精准控阻：流量波动工况快速响应，电阻率长期稳定，保障每一批次清洗工艺一致性

2. 超低洁净污染风险：接液部件采用高纯耐腐材质，微粒析出极低，适配优良纳米制程

3. 低压损、低耗材成本：水路压力损失小，CO₂气体消耗量低，长期运行成本优于 IPA 化学添加方案

4. 智能化人机管理：触控显示屏、运行日志、故障报警，支持 RS‑485 通讯对接工厂 CIM 自动化系统

5. 标准化安全认证：可选 CE 认证版本，适配海外制造产线；柜式 / 机架两种形态灵活适配车间布局

六、公用运行条件

• 进水水质：超纯水电阻率≥10 MΩ・cm，水温 5~35℃，进水压力≤0.45 MPa

• CO₂气源纯度≥99.5%，供气压力 0.1‑0.2 MPa

• 供电规格：AC100‑240V，50/60Hz

七、适用工艺场景

1. 半导体行业：晶圆 Dicing 切割清洗、Scrubber 刷洗、高压喷淋清洗、CMP 后清洗、蚀刻后清洗

2. 显示面板：LCD/OLED 玻璃基板、光掩膜 / Reticle 光罩精密清洗

3. 精密制造：光伏硅片清洗、光学元器件湿法清洗制程
   NGK 日本碍子 超纯水碳酸溶解式除静电装置NGK 日本碍子 超纯水碳酸溶解式除静电装置
   

超纯水防静电装置 MEGCONⅡ +规格