简要描述：LINTEC林泰克 质量流量控制器气体 分析仪这是一款低成本的质量流量控制器，非常适合控制惰性气体（例如氩气和氮气）以及空气的流量。通过限制规格，可以缩短交货时间。

流量范围也可通过可选的可变量程功能进行更改。此外，还可以添加RS-485数字通信功能。

产品简介

MC‑10RC 系列属于经济型热式质量流量控制器，电磁驱动阀体，弹性体密封结构，基础配置模拟 0‑5V 信号，可增配 RS‑485 数字通讯、VR 可变量程功能。氮气当量量程覆盖 10SCCM‑150SLM，交付周期短，综合成本友好，主要适配氮气、氩气等惰性气体，多用于分析仪器、普通镀膜设备、实验平台、非强腐蚀工况气路控制。主流型号包含 MC‑10RC‑01、MC‑10RC‑02、MC‑10RC‑03、MC‑10RC‑04、MC‑10RC‑05、MC‑10RC‑06、MC‑10RC‑07、MC‑10RC‑08、MC‑10RC‑09、MC‑11RC、MC‑12RC。

产品特点

1. 电磁式驱动阀体，阀响应速度快，整体结构精简，交付周期短，综合成本优势明显。

2. 弹性体密封，适配氮气、氩气等惰性气体，不适合液化、强腐蚀工艺气体。

3. 基础模拟 0‑5V 设定与输出，可按需选配 RS‑485 数字通讯，支持多台组网，也可增加 VR 可变量程档位切换功能。

4. 金属壳体搭配滤波结构，降低射频与电磁干扰，运行稳定。

5. 测量性能稳定，精度 ±1.0% FS，重复性≤±0.2% FS，控制区间 2‑100% FS。

6. 响应时间 1s，支持零点校准，方便现场调试。

7. 标准常闭阀结构，断电自动切断气路。

基础性能参数

测量原理：热式传感控制区间：2‑100% FS阀类型：常闭阀接液材质：SUS316L、PTFE、Viton 弹性密封件全阶响应：1s工作压差：50‑300kPa耐压：1MPa (G)氦检漏：1×10⁻⁸Pa・m³/sec通讯：模拟 0‑5V，可选配 RS‑485供电：±15VDC工作环境：15‑35℃（精度保证区间），20‑80% RH 无凝露

各型号区分

MC‑10RC‑01：10‑20SCCMMC‑10RC‑02：40‑100SCCMMC‑10RC‑03：20‑50SCCMMC‑10RC‑04：80‑200SCCMMC‑10RC‑05：400‑1000SCCMMC‑10RC‑06：200‑500SCCMMC‑10RC‑07：800‑2000SCCMMC‑10RC‑08：2‑5SLMMC‑10RC‑09：4‑10SLMMC‑11RC：20‑50SLMMC‑12RC：80‑150SLM

应用场景

分析仪器供气；普通 PVD 溅射镀膜；实验室气体实验平台；通用工艺设备惰性气体流量控制；教学研发装置。

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