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| 品牌 | LINTEC/琳得科 | 价格区间 | 1万-3万 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 质量式 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 电子/电池,半导体,机械设备 |
MC‑10RC 系列属于经济型热式质量流量控制器,电磁驱动阀体,弹性体密封结构,基础配置模拟 0‑5V 信号,可增配 RS‑485 数字通讯、VR 可变量程功能。氮气当量量程覆盖 10SCCM‑150SLM,交付周期短,综合成本友好,主要适配氮气、氩气等惰性气体,多用于分析仪器、普通镀膜设备、实验平台、非强腐蚀工况气路控制。主流型号包含 MC‑10RC‑01、MC‑10RC‑02、MC‑10RC‑03、MC‑10RC‑04、MC‑10RC‑05、MC‑10RC‑06、MC‑10RC‑07、MC‑10RC‑08、MC‑10RC‑09、MC‑11RC、MC‑12RC。
电磁式驱动阀体,阀响应速度快,整体结构精简,交付周期短,综合成本优势明显。
弹性体密封,适配氮气、氩气等惰性气体,不适合液化、强腐蚀工艺气体。
基础模拟 0‑5V 设定与输出,可按需选配 RS‑485 数字通讯,支持多台组网,也可增加 VR 可变量程档位切换功能。
金属壳体搭配滤波结构,降低射频与电磁干扰,运行稳定。
测量性能稳定,精度 ±1.0% FS,重复性≤±0.2% FS,控制区间 2‑100% FS。
响应时间 1s,支持零点校准,方便现场调试。
标准常闭阀结构,断电自动切断气路。
测量原理:热式传感控制区间:2‑100% FS阀类型:常闭阀接液材质:SUS316L、PTFE、Viton 弹性密封件全阶响应:1s工作压差:50‑300kPa耐压:1MPa (G)氦检漏:1×10⁻⁸Pa・m³/sec通讯:模拟 0‑5V,可选配 RS‑485供电:±15VDC工作环境:15‑35℃(精度保证区间),20‑80% RH 无凝露
MC‑10RC‑01:10‑20SCCMMC‑10RC‑02:40‑100SCCMMC‑10RC‑03:20‑50SCCMMC‑10RC‑04:80‑200SCCMMC‑10RC‑05:400‑1000SCCMMC‑10RC‑06:200‑500SCCMMC‑10RC‑07:800‑2000SCCMMC‑10RC‑08:2‑5SLMMC‑10RC‑09:4‑10SLMMC‑11RC:20‑50SLMMC‑12RC:80‑150SLM
分析仪器供气;普通 PVD 溅射镀膜;实验室气体实验平台;通用工艺设备惰性气体流量控制;教学研发装置。