简要描述：LINTEC琳得科MC‑700可变量程质量流量计这款功能非常全面的质量流量控制器具有可变范围功能，可改变流量范围，标配数字通信（RS-485）和金属密封件。

可变量程功能允许将单个单元配置为多个质量流量控制器，从而减少备件需求并实现在线流量调节。它非常适合需要频繁更改流量范围或气体类型的实验装置。

产品简介

MC‑700 系列为搭载 VR 可变量程功能的热式质量流量控制器，机身配置调节旋钮，单台设备可切换多种气体类型与满量程规格，压电驱动隔膜阀体搭配金金属密封。配置模拟 0‑5V+RS‑485 双通讯，氮气当量量程覆盖 10SCCM‑50SLM，死体积小，流路洁净处理，兼容高纯以及部分腐蚀性工艺气体。适合实验平台、研发样机、多工况切换设备使用，减少备件种类，多用于研发实验室、小批量工艺设备改造。主流型号：MC‑710、MC‑720、MC‑730。

产品特点

1. VR 可变量程功能，机身旋钮可切换气体种类与满量程档位，一台设备适配多种工况，降低备件库存成本。

2. 压电驱动隔膜阀，执行部件与工艺气体隔离，腔体死体积小，气体置换速度快。

3. 金金属密封结构，泄漏率低，适配超净气路，可应对腐蚀性工艺气体。

4. 模拟 0‑5V 搭配 RS‑485 数字通讯，最多可串联 32 台设备组网，适配旧款自动化系统对接。

5. 内置环境温度补偿传感模块，环境温度波动条件下流量输出稳定。

6. 测量性能稳定，精度 ±1.0% FS，重复性≤±0.2% FS，控制区间 2‑100% FS。

7. 内置微处理单元，具备零点校准、累计流量统计功能，方便现场调试维护。

8. 金属壳体搭配滤波结构，抗电磁干扰性能较好。

9. 支持常闭、常开阀体两种形式，可按需选配 RS‑232 通讯规格。

基础性能参数

测量原理：热式传感控制区间：2‑100% FS阀类型：常闭阀（可定制常开）接液材质：SUS316L、PCTFE、PTFE，Au 金密封件全阶响应：1s工作压差：MC‑710：50‑300kPa；MC‑720：100‑300kPa；MC‑730：150‑300kPa耐压：1MPa (G)氦检漏：1×10⁻¹¹Pa・m³/sec通讯：模拟 0‑5V、RS‑485，可选 RS‑232供电：±15VDC工作环境：5‑50℃，20‑80% RH 无凝露；精度保证区间 15‑35℃

各型号区分

MC‑710：10‑3000SCCM，可变量程 VR 功能MC‑720：~10SLM，可变量程 VR 功能MC‑730：~50SLM，可变量程 VR 功能

应用场景

半导体研发实验设备；新材料镀膜样机；多气体切换实验平台；MEMS 研发；特种气体实验装置；小批量工艺设备气路改造。

LINTEC琳得科MC‑700可变量程质量流量计LINTEC琳得科MC‑700可变量程质量流量计

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