简要描述：LINTEC琳得科低压差数字质量流量控制器玉崎
低压差质量流量控制器，最小工作压差为 800 Pa。

我们专有的环境温度补偿传感器具有低压损特性，可将压力损失降低至±1%FS的精度。

我们独特的压电执行器阀即使在低压差下也能实现精确的流量控制和稳定性。

产品简介

MC‑3000S 系列为低压差型热式质量流量控制器，模拟 0‑5V 搭配 RS‑485 双通讯接口，压电驱动隔膜阀体，金金属密封。优化内部流路结构，工作压差仅 800Pa，氮气当量量程覆盖 5SCCM‑30SLM。死体积小，气体置换快，流路洁净处理，适配低压供气、低蒸气压液化、升华类工艺气体，多用于供气压力受限半导体设备、特种气源实验装置，适配 RS‑485 通讯旧产线替换。主流型号：MC‑3102S、MC‑3202S、MC‑3252S。

产品特点

1. 低压差流路设计，相比常规 MFC，可在极低进出口压差条件下稳定控气，适配气源压力不足工况，可用于低压源、SDS 安全供气容器气体控制。

2. 压电驱动隔膜阀结构，执行部件与工艺气体相互隔离，腔体死体积小，气路置换效率高。

3. 金金属密封结构，氦检泄漏率低，适配半导体超净气路工况。

4. 模拟信号搭配 RS‑485 总线，支持多台设备组网对接旧款自动化系统。

5. 内置环境温度补偿模块，环境温度波动时流量输出保持稳定。

6. 测量性能稳定，25‑100% FS 精度 ±1.0% S.P，2‑25% FS 精度 ±0.25% FS，重复性≤±0.2% FS。

7. 具备零点校准、累计流量统计、斜坡输出功能，方便现场调试维护。

8. 金属壳体搭配滤波结构，抗电磁干扰能力较好。

9. 支持常闭、常开阀体两种形式，匹配不同设备安全逻辑。

基础性能参数

测量原理：热式传感氮气当量量程：5SCCM‑30SLM控制区间：2‑100% FS阀类型：常闭阀（可定制常开）接液材质：SUS316L、PCTFE、PTFE，Au 金密封件全阶响应：2s工作压差：800‑133000Pa耐压：1MPa (G)氦检漏：1×10⁻¹¹Pa・m³/sec通讯：模拟 0‑5V、RS‑485供电：±15VDC工作环境：5‑50℃，20‑80% RH 无凝露

各型号区分

MC‑3102S：5‑5000SCCM，低压差规格，RS‑485MC‑3202S：~20SLM，低压差规格，RS‑485MC‑3252S：~30SLM，低压差规格，RS‑485

应用场景

半导体 CVD、ALD 低压供气工艺；低蒸气压液化、升华类前驱体气体控制；离子注入特种气体供气；第三代半导体；MEMS 器件制造；气源压力受限特种气体实验平台；RS‑485 旧产线低压差流量点位改造。
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