伺服驱动带动阀瓣做钟摆式圆弧摆动，阀瓣开度连续可调，流导可以从关闭到全开区间任意定位。外接真空规采集腔体内实际压力信号，回传给 JPC 控制器，控制器自动运算，实时修正阀瓣开度，形成闭环反馈，维持腔体工艺压力稳定。具备腔体体积自学习功能，自动匹配控制参数，支持接入两路真空压力传感器。流导可降至零，关闭时不会消耗工艺气体。区别：3PV 为机械限位三档固定位置；APC 为伺服全行程连续闭环自动调压。

V‑TEX APC‑Penduroll真空压力控制钟摆阀核心产品特点

1. 闭环连续压力调节。伺服驱动，阀瓣全行程无级可变，不是固定档位，针对工艺压力波动实时动态补偿，压力控制响应速度快，适配精密成膜工艺。自带腔体自学习，自动适配不同容积腔体，降低现场调试工作量。2. 低发尘洁净钟摆结构。阀瓣只在闭合状态压紧 O 型密封圈，摆动过程密封圈无滑动摩擦；波纹管隔离伺服驱动单元，隔绝润滑介质进入真空侧，微粒析出少，适配半导体高洁净制程。3. 真空密封性能。阀体为铝合金，法兰不锈钢材质；标配 FKM 密封件，腐蚀工况可选用 FFKM 全氟醚密封。本体氦检漏率≤4×10⁻¹⁰Pa・m³/s，满足高真空工况。4. 便捷维护结构。单颗螺栓即可拆装阀瓣组件，O 型圈现场更换，无需将整台阀门从管路拆下，缩短设备停机维护时长。5. 控制器扩展能力。专用 JPC 控制器，可同时接入 2 路真空传感器；支持外部模拟量信号设定、状态输出，对接设备 PLC 系统。6. 可选阀体加热版本。APC‑H 加热型最高阀体温度 150℃，抑制工艺副产物冷凝附着，气缸驱动部位做隔热防护，驱动部位温度≤60℃。7. 耐久性能，标准循环寿命 20 万次，适配半导体产线连续 24 小时运行。

关键技术参数

- 驱动形式：伺服电机电控驱动，配套 JPC 控制器- 调节行程：流导 0 至全开，全行程连续无级调节- 法兰规格：JIS‑A DN160A、DN200A、DN250A、DN320A、DN350A- 真空范围：大气压～1×10⁻⁷Pa- 信号接口：支持两路真空规输入，模拟量设定与反馈输出- 密封配置：FKM 标准密封，可选 FFKM 全氟醚密封- 阀体温度：普通款≤90℃；‑H 加热款最高 150℃，驱动部≤60℃- 设计循环寿命：20 万次开闭循环

订货衍生型号

常温基础款：APC‑160A、APC‑200A、APC‑250A、APC‑320A、APC‑350A阀体加热款：APC‑160A‑H、APC‑200A‑H、APC‑250A‑H、APC‑320A‑H、APC‑350A‑H腐蚀工况后缀‑FFKM，例 APC‑200A‑H‑FFKM；配套控制器 JPC‑Controller

应用场景

半导体 PVD 溅射、CVD 沉积、ALD、刻蚀腔体；面板镀膜设备；光伏镀膜设备；科研精密真空系统。针对工艺气体流量动态变化，需要恒定腔体压力的制程，做闭环压力调节。

使用注意事项

1. 整套系统必须搭配原厂 JPC 控制器，不可直接用 3PV 气动驱动单元驱动 APC 阀体。2. 加热型号使用时做好隔热隔离，热量不可传导至伺服驱动部位，防止元器件老化。3. 阀瓣内部不可现场拆解，拆解会破坏波纹管与本体漏率。4. 按照工艺沉积物多少，定期更换 O 型密封圈。5. 真空传感器需要定期校准，保障闭环控制精度。

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