滚凸轮气缸驱动阀瓣做钟摆圆弧摆动，依靠机械限位锁定三个固定工位。全关：阀瓣压紧密封圈，流道封闭，完成腔体真空隔离；中间节流位：阀瓣停留在出厂预设固定开度，改变排气流导，限制抽泵速率，稳定腔体工艺压力；全开：阀瓣摆开，释放最大流导，实现快速抽真空。波纹管隔离驱动机构，气动部件和真空腔体分隔，规避外部润滑介质污染工艺腔。3PV 为出厂固定中间节流开度；如需连续闭环无级调压，选用同系列 APC‑Penduroll 搭配控制器。同系列 IPV 为二位摆阀，只有全开、全关，无节流功能。

日本V‑TEX 3PV三位钟摆摆阀半导体真空阀门核心产品特点

1. 三位置机械定位，隔离节流一体化。三个确定机械工位，中间节流开度出厂预设，无需复杂电控，单台阀门兼顾腔体隔断与工艺压力调节；整机结构紧凑，节约设备安装空间。2. 低发尘洁净钟摆结构。阀瓣仅闭合时静态压紧 O 型圈，运动阶段密封圈无滑动摩擦；波纹管隔离气动驱动单元，降低微粒产生，适配半导体高洁净工艺条件。3. 优异超高真空密封性能。阀体不锈钢材质，标配 FKM 密封件；卤素腐蚀工况可更换 FFKM 全氟醚橡胶；本体氦检漏漏率≤4×10⁻¹⁰Pa・m³/s，满足 10⁻⁷Pa 超高真空工况。4. 维护简单便捷。仅拆卸单颗螺栓，就可完成阀瓣、O 型圈拆装更换，无需整体拆下阀门，缩短设备停机维护时长。5. 气动驱动，多路位置信号反馈。气源压力 0.45‑0.55MPa；内置磁性传感器，输出全关、中间节流位、全开三路到位信号，对接设备 PLC 实现安全联锁保护。6. 耐久使用寿命。标准工况设计寿命可达 50 万次动作循环，适配产线 24 小时不间断连续生产。7. 可选加热版本 3PV‑H。阀体最高加热 150℃，抑制工艺副产物冷凝沉积；气缸驱动部位做隔热隔离，驱动部位允许温度≤60℃，防止气动元件高温老化损坏。

关键技术参数

驱动形式：气动，工作气源 0.45‑0.55MPa工作工位：全关、中间节流、全开三机械定位真空范围：大气压～1×10⁻⁷Pa主流法兰规格 JIS‑A：DN160、DN200、DN250、DN320、DN400、DN500信号输出：全关、中间位、全开磁性位置信号密封配置：FKM 标准密封，可选 FFKM 全氟醚橡胶常规阀体温度≤90℃；‑H 加热型最高 150℃，驱动部≤60℃

主流订货型号

常温基础款：3PV‑160A、3PV‑200A、3PV‑250A、3PV‑320A、3PV‑400A、3PV‑500A加热衍生款：3PV‑160A‑H、3PV‑200A‑H、3PV‑250A‑H、3PV‑320A‑H、3PV‑400A‑H、3PV‑500A‑H腐蚀工况末尾追加‑FFKM，例：3PV‑200A‑H‑FFKM。

应用场景

半导体 PVD 溅射、CVD、ALD、刻蚀腔体排气管路；OLED、LCD 面板镀膜设备；光伏 PVD 设备；科研磁控溅射、电子束蒸发真空装置，实现固定工艺压力调节与腔体隔离隔断。

使用注意事项

1. 中间节流开度为出厂机械预设，现场不可随意改动机械限位，选型阶段确认节流开度参数。2. 接触腐蚀性工艺气体，选型选用 FFKM 全氟醚密封配置。3. 选用‑H 加热型号时，做好隔热处理，加热热量不可传导至气缸驱动部件。4. 阀门内部禁止现场拆解，拆解会破坏波纹管结构以及本体真空漏率。5. 根据工艺沉积物生成量，定期维护更换 O 型密封圈。

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