eFLOW 系列采用中空纤维透气膜技术，属于超纯水电阻率调控防静电设备。18.2MΩ・cm 高绝缘超纯水在高速喷淋、冲洗工件时极易产生静电，引发颗粒吸附、器件静电击穿损伤。设备依靠中空纤维膜将二氧化碳均匀溶入超纯水，调节水体电阻率，提升纯水导电能力，以此消除水流静电，保护晶圆、基板等精密工件，全程无需添加液态化学药剂，不会带来水质二次污染问题。

DIC 迪爱生 eFLOW 系列超纯水防静电装置主流型号及流量规格

AP 系列，机架面板嵌入式，适配设备机柜集成

eFLOW 1AP‑B02：1‑16L/min，单模组 PF‑001L‑NA
eFLOW 2AP‑B01：5‑30L/min，双模组 PF‑001L‑ND2
eFLOW 3AP‑B01：10‑50L/min，双模组 PF‑001L‑ND3

AC 系列，独立落地柜式，具备气瓶放置空间，适合产线集中供水

eFLOW 1AC‑P201：1‑16L/min，单模组 PF‑001L‑NA
eFLOW 2AC‑P201：5‑30L/min，双模组 PF‑001L‑ND2
eFLOW 3AC‑P201：10‑50L/min，双模组 PF‑001L‑ND3

定制大流量机型

eFLOW 5AP/5AC：70‑100L/min 超大流量定制款
30A‑L1：小型紧凑型简易 CO₂防静电单元

配套替换膜芯耗材：PF‑001L‑NA、PF‑001L‑ND2、PF‑001L‑ND3

核心优势

1. 电阻率控制稳定，特殊分流管路结构，进水流量波动时出水电阻率波动幅度小，保障工艺一致性。2. 整机结构简洁，无复杂运动部件，无动态密封结构，故障发生率低，日常运维工作量少。3. 压力损耗低，不用额外增设增压泵，便于现有纯水产线直接改造升级。4. 接液部件采用高洁净材质，适配半导体无尘环境，仅需外接高纯 CO₂气源，不存在药剂污染风险。5. 膜芯模组使用寿命长，支持单独更换，降低长期使用成本；更换模组后还可拓展实现纯水脱氧、功能清洗水制备等功能。

使用注意事项

1. 需要接入合格高纯二氧化碳气源，管控供气压力。2. 定期检测出水电阻率，结合现场工况按时更换中空纤维膜芯耗材。3. 介质限定为超纯水，强腐蚀介质、有机溶剂禁止通入设备内部。4. 区分嵌入式 AP 机型与柜式 AC 机型，结合现场安装空间选型。5. 工作温度、水压需要控制在设备允许区间，禁止超工况运行。

应用场景

半导体晶圆切割清洗、湿法槽式清洗、单片式毛刷清洗、高压喷淋工艺；LCD/OLED 面板、掩膜板清洗；光学玻璃基板清洗；光伏电池片清洗；各类超纯水直接喷淋接触精密器件的产线，解决静电吸附颗粒、静电放电损伤等问题。

产品线

面板安装型（P系列）

P系列产品可安装在符合IEA（美国电子工业协会）标准的机架中。1AP型标配全洁净连接器，而2AP型可选配全洁净连接器。

产品名称	处理流量（升/分钟）	模块
eFLOW 1AP-B02	1 – 16	PF-001L-NA 1个单元 1个模块
eFLOW 2AP-B01	5 – 30	PF-001L-ND2（2 个单元，2 个模块）
eFLOW 3AP-B01	10 – 50	PF-001L-ND3（2 个单元，2 个模块）

柜式（C系列）

C系列配备一个可容纳两个二氧化碳钢瓶的柜体。柜体内置电阻传感器，可将水管直接从eFLOW连接到使用点。

产品名称	处理流量（升/分钟）	模块
eFLOW 1AC-P201	1 – 16	PF-001L-NA 1个单元 1个模块
eFLOW 2AC-P201	5 – 30	PF-001L-ND2（2 个单元，2 个模块）
eFLOW 3AC-P201	10 – 50	PF-001L-ND3（2 个单元，2 个模块）