FV‑W 双向真空泵是C007、F007 吹气释放型真空镊子的专属动力主机，无油隔膜双回路结构，一台设备同时输出负压吸附与 HEPA 过滤洁净正压吹气，专门解决超薄晶圆、薄片基板因静电、液体表面张力粘吸头无法脱落的痛点；分为标准 FV‑W 与 FV‑W‑Conductive 导电防静电两个版本，分别适配 F 系列湿法镊子、C 系列 ESD 防静电干法镊子，满足 Class100 洁净室使用要求。

Fluoro福乐泵专用系列双向真空泵镊子主机产品概述

FV‑W 系列为吸引吐出两用无油隔膜真空泵，仅适配 C007、F007 吹气释放真空镊子，普通 001/002/003 阀体吸笔不适用；常态输出负压完成工件吸附，按下 007 系列吸笔按键，立刻切断负压，同步输出可无级调节柔和正压吹气，实现薄片工件平稳卸料。标配进出气双路 HEPA 过滤器，透明视窗可直观观察滤芯损耗状态；仅 AC100V 供电，无需外接工厂气源，整机紧凑低噪音，支持长时间连续运行。型号释义：FV‑W = 标准双向泵；FV‑W‑Conductive = 导电防静电双向泵，搭配导电双回路管路与接地线，实现静电泄放通路。

Fluoro福乐泵专用系列双向真空泵镊子主机核心特点

双回路一体化设计，单台同时实现负压吸附 + 正压吹气，正压吐出压力 0‑20kPa 无级可调，适配不同厚度薄片晶圆，防止气流冲飞微小元器件，解决粘片裂片难题。
无油隔膜结构，无油雾挥发污染晶圆，隔膜部件耐久寿命 9000 小时以上，适合半导体产线、实验室长期作业。
进出气配置 HEPA 高效过滤器，拦截 99.97%≥0.3μm 颗粒；本体透明观察窗口，无需拆机即可判断滤芯更换周期，避免杂质反向污染器件。
FV‑W‑Conductive 导电款整机静电泄放通路，搭配 C 系列导电真空镊子，构成完整干法防静电拾取系统；标准 FV‑W 适配 F 系列耐化学湿法真空镊子。
密封降噪机身，运行噪音低，体积小巧，手套箱、狭小操作台均可放置；配套专用双回路管路，安装简单。

关键规格

‑型号：FV‑W（标准款）、FV‑W‑Conductive（导电防静电款）‑供电电压：AC‑100V 50Hz‑消耗功率：5.0W‑到达吸引负压：‑33kPa‑吸引流量：2.3L/min‑吐出吹气压力：0‑20kPa（无级调节）‑吐出吹气流量：0‑2.0L/min‑外形尺寸：137×88×91mm‑整机重量：800g‑过滤：进出气 HEPA 过滤器‑工作环境温度：≤40℃‑标配配件：1.5m 双回路管路；导电款额外配置接地线

应用场景

半导体超薄硅晶圆、碳化硅薄片基板、薄玻璃、超薄光学镜片；干法防静电工位（导电款）、湿法药液工艺工位（标准款）；划片、探针台、封装、半导体实验室薄片工件拾取转运。

提示：仅可搭配 C007 / F007 吹气释放真空镊子，不能驱动普通 001/002/003 型号吸笔；普通单回路真空泵无法实现吹气卸料功能。

C系列（导电型）

图像	代码编号	材料	尺寸		绘画
图像	代码编号	材料	L	W	绘画
	C001	碳纤维增强尼龙树脂（东丽卡）	145	14	细节
	C002				细节
	C003				细节

真空镊子主体采用碳纤维增强尼龙树脂（东丽卡）制成，具有优异的物理性能和导电性。内部阀门部分采用氟树脂，并采用特殊的模压工艺包裹碳纤维，确保气密性不受影响。因此，其阀门开合顺畅，与传统的F系列真空镊子类似。（已获）
吸附芯片采用PEEK树脂制成，具有优异的耐化学性、耐热性和韧性。经机械加工、热处理和镜面抛光后，即使长期使用也能保持稳定的性能。此外，添加碳纳米管使得在低填料含量下也能实现高导电性。
吸附芯片有多种尺寸可供选择，并提供多种选项以适应不同的晶圆尺寸。
Φ3×5 和 Φ4×6 两种管径均可使用。