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| 品牌 | FLUORO/日本福乐 | 应用领域 | 医疗卫生,电子/电池,航空航天,半导体,机械设备 |
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C 系列导电型真空镊子,也叫真空吸笔,专为半导体干式无尘产线开发,整机连续导电泄放静电,分为 C001 常闭、C002 常开、C003 自锁保压、C007 吹气释放四款阀体,可更换多款导电 PEEK 吸头,适配 2‑12 英寸晶圆、芯片、基板,用于干燥无尘工位的拾取、转运、分拣作业。型号释义:C‑阀体编号‑接头形式‑吸头型号‑CP 导电吸头。
Fluoro福乐C系列导电型真空镊子库存现货核心特点:
笔身为碳纤维增强导电尼龙,表面电阻率 10⁶~10⁸Ω,完整导电通路,消除静电,避免敏感器件 ESD 击穿损伤。
吸头导电 PEEK 材质,镜面抛光,低发尘,无金属析出,不会划伤晶圆、光刻胶、镀膜层。
内部阀芯氟树脂密封,气密性好,微粒析出低,满足 Class100 洁净室使用条件。
阀体多种操作模式可选:点动吸附、持续吸附、自锁保压、吹气剥离薄片,吸头快速拆装更换。
需要外接负压真空源,负压范围 0~‑80kPa,适配半导体、光电行业无尘车间使用。
Fluoro福乐C系列导电型真空镊子库存现货关键规格:
‑主体材质:碳纤维增强导电尼龙‑吸头材质:导电 PEEK‑表面电阻:10⁶~10⁸Ω‑负压范围:0~‑80kPa‑阀体类型:C001 常闭 NC;C002 常开 NO;C003 自锁;C007 吹气释放‑接头形式:X 万向接头、Y 直柄接头‑适配吸头:90‑CP、92‑CP、95‑CP、97‑CP、98‑CP、99‑CP 导电系列吸头‑工作温度:0℃~+50℃‑使用环境:干燥无尘环境,不可用于强化学药液浸泡工况。
常用订货型号:
C001‑X‑97‑CP、C001‑Y‑95‑CP;C002‑X‑98‑CP、C002‑Y‑92‑CP;C003‑X‑99‑CP、C003‑Y‑97‑CP;C007‑X‑95‑CP、C007‑Y‑98‑CP。
应用场景:
硅晶圆、碳化硅基板、芯片 die、Mini/Micro LED 基板、光学镜片、探针台工位、晶圆划片、封装测试、洁净实验室无尘拾取转运。
提示:真空泵需单独采购,线缆长度支持按需选配,仅限干式环境使用。
C系列(导电型)
图像 代码编号 材料 尺寸 绘画 L W C001 碳纤维增强尼龙树脂(东丽卡) 145 14 细节 C002 细节 C003 细节
真空镊子主体采用碳纤维增强尼龙树脂(东丽卡)制成,具有优异的物理性能和导电性。内部阀门部分采用氟树脂,并采用特殊的模压工艺包裹碳纤维,确保气密性不受影响。因此,其阀门开合顺畅,与传统的F系列真空镊子类似。(已获)
吸附芯片采用PEEK树脂制成,具有优异的耐化学性、耐热性和韧性。经机械加工、热处理和镜面抛光后,即使长期使用也能保持稳定的性能。此外,添加碳纳米管使得在低填料含量下也能实现高导电性。
吸附芯片有多种尺寸可供选择,并提供多种选项以适应不同的晶圆尺寸。
Φ3×5 和 Φ4×6 两种管径均可使用。
C系列(导电型)的代码表示示例:
F系列(耐化学腐蚀型)
图像 代码编号 材料 尺寸 绘画 L W F001 4F-PTFE
聚四氟乙烯145 14 细节 F002 细节 F003 细节
真空镊子主体采用氟树脂(4F-PTFE)制成。通过精密加工,巧妙地结合了这种树脂的优异性能,我们保证了其长期稳定的性能,包括气密性和耐用性。
吸嘴采用PEEK材料制成,具有优异的耐化学腐蚀性、耐热性和机械强度。经加工后,再进行热处理和镜面抛光,即使长期使用也能保持稳定的性能。
吸附芯片有多种尺寸和材料可供选择,并提供多种选项以适应各种晶圆尺寸。
Φ3×5 和 Φ4×6 两种管径均可使用。
F系列(耐化学腐蚀型)的代码表示示例:
真空捕集/释放镊子(气动镊子) - FV-W 泵专用系列:
“释放真空镊子"的设计目的是吸附、吹出和运输“微型物体",这些物体纤薄、轻巧、极其微小、精致且精确,不会因自身重量而掉落。
吹气功能用于将工件放置在正确的位置。
释放式真空镊子由FV-W真空泵和C007或F007真空镊子组成。其紧凑的机身利用FV-W真空泵同时进行吸气和排气,无需单独的真空泵。吸气和排气两个回路连接到同一个接头(双管路),仅需一根管子即可完成吸气和排气。
图像 代码编号 材料 尺寸 绘画 L W C007 碳纤维增强尼龙树脂(东丽卡) 145 14 细节 F007 4F-PTFE 145 14 细节
007 采用专用包装盒。
相关视频:如何连接系统泵体和镊子,利用排出的空气输送微小工件。
C007
镊子主体由导电尼龙树脂制成,并覆盖有氟树脂阀门,使其成为处理易受静电影响的极小物体的理想工具。(电阻率:10⁶ ± 2)
F007
通过对氟树脂阀门内壁进行镜面抛光处理,使其具有优异的气密性和耐久性,并且能够长期保持稳定的性能。
释放真空镊子 FV-W 泵专用系列的代码表示示例: