简要描述：IKC入江工研NS10090-1超高真空金属波纹管NS10090‑1 属于百万循环寿命系列焊接波纹管，裸波纹管无配套法兰，可选 Y 型焊接端头、波形无端头两种结构，可自行焊接适配各类真空法兰。SUS316L 碟片叠焊全金属结构，无橡胶部件，低放气，适配大通径、高频连续往复的超高真空设备。

IKC入江工研NS10090-1超高真空金属波纹管产品概述

NS 系列为裸式焊接波纹管元件，不带成品法兰，由用户自行焊接法兰接头。采用 SUS316L 超薄金属碟片内外圈交替精密叠焊成型，全金属结构，不含橡胶密封件，用于超高真空环境下轴向伸缩、动密封、位移补偿，广泛用作真空阀、真空导入机构核心零部件。

IKC入江工研NS10090-1超高真空金属波纹管结构原理

多层薄金属圆膜片交替堆叠焊接，依靠膜片形变实现轴向拉伸压缩，往复运动无滑动摩擦，不易产生粉尘颗粒。提供两种端头样式：

1. Y 型焊接端头：熔接面积大，焊接牢固，适配常规法兰对接；

2. 波形无端头：适合狭小空间嵌入式焊接安装。

通用基础规格

• 材质：SUS316L 不锈钢

• 漏率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

• 烘烤最高温度：250℃，需平缓升降温

• 使用工况：内侧真空，外侧大气压

• 特性：低放气，耐等离子腐蚀，支持腔体烘烤除气

三大寿命子系列

1. 1 万次循环系列代表型号：NS122‑1、NS130‑1、NS136‑1、NS151‑1适用：低频间歇工况，实验室小型腔体、简易真空设备，不适合长期连续往复。

2. 10 万次循环系列代表型号：NS1022‑1、NS1030‑1、NS1036‑1、NS1051‑1适用：通用工业真空设备，镀膜、锂电光伏设备，市面主流通用款，兼顾耐久与成本。

3. 百万次循环系列代表型号：NS10022‑1、NS10030‑1、NS10036‑1、NS10051‑1适用：半导体制程设备、24 小时高频连续运行设备，疲劳耐久性能强，严苛工况选用。

同是‑1 后缀，循环寿命以产品所属规格系列为准，不以后缀数字直接判断。

产品特点

1. 全金属焊接结构，无橡塑部件，真空环境下放气低，不会污染腔体；

2. 结构紧凑，可实现较大轴向伸缩行程，弹簧刚度随规格变化；

3. 可承受 250℃高温烘烤除气，满足超高真空腔体洁净工艺；

4. 运动无摩擦，产尘少，适配晶圆相关工艺；

5. 裸波纹管设计，端头自主焊接，法兰接口适配灵活；

6. 耐等离子腐蚀，适配刻蚀、镀膜工艺环境。

应用场景

半导体真空阀门动密封、真空直线导入器、真空腔体热胀冷缩位移补偿、电子束设备、ALD、刻蚀设备、科研超高真空平台、镀膜设备、锂电光伏真空工艺设备。

使用注意

1. 仅限轴向伸缩使用，禁止侧向受力、偏心、扭转，侧向载荷会大幅缩短寿命，造成开裂；

2. 实际使用位移，不可超过型号标注单模块最大允许位移；

3. 焊接端头做好隔热防护，避免波纹管本体高温退火变形；

4. 烘烤温度不得高于 250℃，升降温速率不宜过快；

5. 选型参考往复频次：低频间歇选 1 万次，常规工业选 10 万次，半导体高频连续运行选百万次系列。

• 
  

  百万循环寿命系列

  （单位：毫米）
  

  百万循环寿命系列
  模型	内径	外径	每10毫米位移的规格				有效面积 （平方厘米）	每个模块的 最大允许 位移 （毫米）
  			自由长度	操作范围		轴向 弹簧常数 （N/mm）
  				最小值	Lmax
  NS10022-1	8	22	31	24	34	1.54	1.77	20
  NS10030-1	17	30	二十五	18	28	3.02	4.34	30
  NS10036-1	22	36	24	16	26	2.79	6.61	40
  NS10051-1	36	51	22	14	24	3.39	14.9	50
  NS10070-1	50	70	21	14	24	4.55	28.3	70
  NS10090-1	60	90	17	10	20	5.53	44.2	80
  NS10094-1	70	94	16	9	19	7.88	52.8	100
  NS100109-1	79	109	18	10	20	17.20	69.4	100
  NS100120-1	90	120	16	9	19	16.65	86.6	120
  NS100150A-1	100	150	20	13	23	15.61	122.7	100
  NS100150B-1	120	150	18	10	20	12.82	143.1	120
  NS100210-1	160	210	18	10	20	22.61	268.8	130
  NS100270-1	206	270	21	13	23	12.94	444.9	110
  NS100320-1	260	320	17	10	20	20.97	660.5	150