简要描述：IKC入江工研NS10150A-1超高真空金属波纹管NS10150A‑1 属于 NS 标准碟片焊接波纹管，‑1 代表循环寿命 1 万次，A 代表 A 型波形焊接端头，裸波纹管无配套法兰，客户可自行焊接法兰接头。SUS316L 金属碟片交替焊接成型，全金属密封无橡胶件，低放气，满足高真空、超高真空工况，实现轴向伸缩位移，多用于大口径真空阀、真空导入机构、半导体腔体设备

IKC入江工研NS10150A-1超高真空金属波纹管产品简介

NS 系列为 IKC 入江工研标准碟片焊接波纹管，采用超薄金属膜片内外圈交替精密焊接成型，单体裸波纹管结构，无自带法兰，端部可由客户自行焊接适配法兰。全金属气密结构，无橡胶密封件，低释气，适配高真空、超高真空工况，可实现轴向伸缩位移，用于真空运动密封、位移补偿、振动隔离，大量配套真空阀门、真空导入机构、半导体腔体设备。后缀数字代表循环寿命：‑1=1 万次，‑10=10 万次，‑100=100 万次。

IKC入江工研NS10150A-1超高真空金属波纹管核心参数

‑ 结构形式：碟片叠焊裸波纹管，无配套法兰‑ 波纹管材质：SUS316L（NS 标准款）；可选 AM350 等效合金‑ 工作压力：内部真空，外部大气压‑ 漏率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s‑ 使用温度：常温，烘烤最高 250℃‑ 位移形式：以轴向位移为主，可少量角度偏移‑ 循环寿命：1 万 / 10 万 / 100 万次多种规格可选‑ 弹簧常数：随内径、外径、膜片厚度、片数变化‑ 端部处理：Y 型焊接端头，客户可自行焊接法兰接头

产品特点

1. 碟片精密焊接工艺，同等尺寸下伸缩行程大，结构紧凑。

2. 全金属结构，无有机橡胶部件，真空环境释气低，适配烘烤除气工况。

3. 漏率指标优异，满足高真空、超高真空系统密封要求。

4. 弹簧特性稳定，轴向伸缩线性好，疲劳寿命档位齐全，方便选型。

5. 裸管设计，端部可自行焊接法兰，适配多种设备安装接口。

6. 耐等离子环境，耐腐蚀，适配半导体严苛工艺环境。

应用领域

半导体真空阀驱动密封、真空直线导入器、真空腔体位移补偿、镀膜蒸镀设备、Loadlock 腔体、电子束设备、ALD 蚀刻设备、科研真空平台、管路减震补偿。

使用注意

1. 优先使用轴向位移，尽量减少大角度侧向偏移，避免提前疲劳损坏。

2. 不可超出单块最大允许位移，禁止超行程压缩拉伸。

3. 烘烤温度不允许超过 250℃，按规定速率升降温。

4. 焊接装配时做好保护，避免波纹管本体受热损伤。

5. 根据实际往复次数选择对应寿命等级型号。
   

   100,000 年寿命系列

   　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（单位：毫米）
   

   100,000 年寿命系列
   模型	内径	外径	每10毫米位移的规格				有效面积 （平方厘米）	每个模块的 最大允许 位移 （毫米）
   			自由长度	操作范围		轴向 弹簧常数 （N/mm）
   				最小值	Lmax
   NS1022-1	8	22	23	15	二十五	2.14	1.77	20
   NS1030-1	17	30	19	11	21	4.07	4.34	40
   NS1036-1	22	36	18	10	20	3.72	6.61	50
   NS1051-1	36	51	15	8	18	4.75	14.9	80
   NS1070-1	50	70	15	7	17	6.62	28.3	100
   NS1090-1	60	90	13	6	16	7.38	44.2	100
   NS1094-1	70	94	11	6	16	11.38	52.8	130
   NS10109-1	79	109	13	7	17	23.65	69.4	130
   NS10120-1	90	120	13	7	17	20.81	86.6	140
   NS10150A-1	100	150	15	8	18	20.81	122.7	130
   NS10150B-1	120	150	13	7	17	17.63	143.1	160
   NS10210-1	160	210	13	6	16	31.66	268.8	140
   NS10270-1	206	270	15	7	17	18.12	444.9	110
   NS10320-1	260	320	14	7	17	25.16	660.5	140