简要描述：MIYUKI 美幸辉 GAR‑J200B 伺服控制闸阀GAR‑J200B 属于 GAR 系列大口径伺服真空闸阀，采用 JIS 日标 200A 法兰，B 型号搭载电磁抱闸机构，断电可锁止阀位。依靠伺服直驱实现 0‑100% 连续开度调节，超低泄漏、低放气低粉尘，适用于大型高真空腔体做排气节流与闭环压力控制，广泛用于半导体、大面积镀膜、科研高真空设备。

一、系列概述

GAR 系列为 MIYUKI 美幸辉伺服驱动闸板式真空调节阀，法兰采用 JIS 日标，公称口径覆盖 80A‑400A，B 后缀型号内置电磁抱闸刹车，具备断电锁止保护，专为大口径高真空腔体做精密流导调节、压力闭环控制，主打低放气、低粉尘、超低泄漏，适配半导体、镀膜等高洁净工艺产线。

二、系列通用基础参数

法兰规格：JIS 日标法兰口径覆盖：80A、100A、150A、160A、200A、300A、400A工作压力范围：10⁵Pa～10⁻⁶Pa内部密封泄漏量：≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s轴封外部泄漏量：≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s接气材质：SUS304 不锈钢标准密封：FKM 氟橡胶 O 型圈，‑K 后缀版本升级 Kalrez 全氟醚耐腐蚀密封阀体耐热：150℃电机使用温度：≤40℃驱动：伺服电机直驱无齿隙，B 型号带电磁抱闸刹车，断电锁止阀位阀位反馈：自带阀位信号输出通讯：RS232、RS485配套控制器：MGCS‑11、MG‑mini485、MS‑VP安装姿态：任意方向可安装

三、系列核心优势

1. 闸板升降式结构，全开闸板退出流道，通流电导高，抽气效率优秀，适合设备主排气主管路使用。2. 伺服直驱无齿轮结构，低粉尘析出、低放气，满足半导体洁净制程要求。3. 全行程 0‑100% 开度连续可调，微量调压到关闭隔离，真空压力流量控制精度高。4.B 型号内置电磁制动刹车，断电锁止阀位，可实现断电全闭密封，防止大气倒灌，保护腔体与工件。5. 启闭平缓无冲击、运行噪音低，支持长时间连续工业运行，整机可靠性强。6. 统一 JIS 日标法兰，可直接对接日系真空设备管路。7. 搭配原厂控制器组成闭环真空压力控制系统，自动调节流导，稳定腔体内真空度。

四、常用型号清单

GAR‑J80BGAR‑J100BGAR‑J150BGAR‑J160BGAR‑J200BGAR‑J300BGAR‑J400B

五、使用注意事项

1. 电机部位工作温度不可超过 40℃，阀体烘烤作业必须避开电机组件。2. 等离子、强腐蚀工艺工况，选用对应‑K Kalrez 全氟醚密封版本。3. 管路前端做好过滤防护，避免异物杂质进入阀体，划伤闸板与密封面造成泄漏。4. 需匹配原厂配套控制器，才可实现精准开度调节与腔体闭环稳压。5. 定期检查更换 O 型圈密封件，高温、腐蚀工况缩短维护周期。

六、适用应用场景

1. 半导体设备：刻蚀、PVD、CVD 设备大口径主排气节流、真空腔体压力闭环稳压。2. 真空镀膜：光学镀膜、光伏大面积镀膜设备排气调压系统。3. 科研高真空系统、电子束设备、离子注入设备精密压力调节。4. 各类大型工业真空成套设备，大通流排气同时需要高精度真空压力控制工况。
MIYUKI 美幸辉 GAR‑J200B 伺服控制闸阀MIYUKI 美幸辉 GAR‑J200B 伺服控制闸阀