简要描述：MIYUKI 美幸辉 GAR‑J160B 伺服控制闸阀
型号：GAR‑J160B
法兰规格：JIS 日标法兰
公称口径：160A
产品系列：GAR 系列伺服控制闸阀
工作压力范围：10⁵Pa～10⁻⁶Pa
内部密封泄漏量：≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s
轴封外部泄漏量：≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s
接气材质：SUS304 不锈钢

一、型号编码说明

GAR‑【法兰代号】【口径】B
GAR：闸板式伺服真空调压控制闸阀
N：KF 快拆法兰；
J：JIS 日标法兰；
I：ISO‑F 欧标法兰；
C：CF 刀口法兰
数字：公称通径
B：标配电磁制动刹车，断电锁止阀位
K：Kalrez 全氟醚密封选项，无后缀为标准 FKM 氟橡胶密封

二、基础核心参数

MIYUKI 美幸辉 GAR‑J160B 伺服控制闸阀
产品系列：GAR 系列伺服控制闸阀
公称口径：80A‑400A
工作压力范围：10⁵Pa～10⁻⁶Pa

内部密封泄漏量：≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s
轴封外部泄漏量：≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s
接气材质：SUS304 不锈钢
标准密封：FKM 氟橡胶 O 型圈，可选 Kalrez 全氟醚密封
阀体耐热：150℃
电机使用温度：≤40℃
驱动：伺服电机直驱，无齿隙，带电磁抱闸刹车
阀位反馈：自带阀位信号输出
通讯：RS232、RS485
配套控制器：MGCS‑11、MG‑mini485、MS‑VP
安装姿态：任意方向可安装

三、产品核心优势

MIYUKI 美幸辉 GAR‑J160B 伺服控制闸阀

1. 闸板升降式结构，全开闸板退出流道，排气通流能力强，缩短腔体抽气时间，适合主排气管路安装。
2. 伺服直驱无齿轮结构，低粉尘析出、低放气，满足半导体洁净工艺要求。
3. 全行程 0‑100% 开度连续可调，从微量开度调压到关闭隔离，流量压力控制精度高。
4. 内置电磁制动刹车，断电锁止阀位，可实现断电全闭密封，防止大气倒灌，保护腔体与工件。
5. 运行噪音低，启闭平缓无冲击，工作稳定性高。
6. 法兰可选 CF、JIS、ISO‑F、KF 多种规格，适配不同真空设备腔体。
7. 可搭配控制器组成闭环真空压力控制系统，自动调节流导稳定腔体内压力。

四、使用注意事项

1. 电机部位不可超过 40℃，烘烤只针对阀体部分，避开电机组件。
2. 腐蚀性等离子工况，选用‑K Kalrez 密封版本。
3. 管路避免异物杂质进入阀体内部，防止划伤密封面。
4. 必须匹配对应配套控制器，实现开度控制与闭环稳压。
5. 定期检查 O 型圈密封件，高温、腐蚀工况缩短维护周期。

五、适用应用场景

1. 半导体设备：刻蚀、PVD、CVD，真空腔体压力闭环控制、主排气节流调节。
2. 真空镀膜：光学镀膜、光伏镀膜设备大口径排气调压。
3. 科研高真空系统、电子束设备、离子注入设备。
4. 各类大型工业真空设备，需要大流量排气同时精密压力控制的工况。