eFLOW C 系列为Cabinet 柜式一体化机型，区别于 AP 机架面板式机型，整机自带独立机柜，内置 CO₂气瓶放置仓，可容纳 2 支 CO₂钢瓶；搭载 DIC 自研中空纤维透气膜系统，通过精准溶解二氧化碳调节超纯水电阻率，消除纯水流动静电，防止晶圆、光学元件静电击穿、粉尘二次吸附，适合产线集中水路主线使用。主流型号：1AC-P201、2AC-P201、3AC-P201

核心特点

一体式机柜设计，自带气瓶仓，无需额外搭建气瓶支架，现场布线、管路安装更简便
内置在线电阻率传感器，实时监测出水水质，数值稳定可控
中空纤维膜气相溶入 CO₂，无气泡产生，不污染超纯水，洁净流路适配半导体制程
供气模组原厂制造，使用寿命长，质保周期 5 年，故障率低
宽流量覆盖，从小流量单机清洗到大流量集中供水管路均有对应机型
全接液无金属可选配置，满足 UPW 超纯水工艺洁净要求

型号流量区分

eFLOW 1AC-P201：处理流量 1～16 L/min，单膜模组
eFLOW 2AC-P201：处理流量 5～30 L/min，双膜模组
eFLOW 3AC-P201：处理流量 10～50 L/min，双膜模组

工作原理

超纯水通入中空纤维膜内腔，膜外侧通入高纯 CO₂，气体透过膜壁溶解进水中发生电离，提升水体导电性，抑制流体摩擦产生静电；通过调节 CO₂饱和水与原生超纯水混合比例，稳定控制电阻率区间（0.1～15MΩ・cm）。

应用领域

半导体晶圆湿法清洗、光学零部件漂洗、光伏电池清洗、精密电子高压喷淋、掩模版清洗

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