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DIC 迪爱生 eFLOW3AP-B01超纯水防静电装置

简要描述:DIC 迪爱生 eFLOW3AP-B01超纯水防静电装置eFLOW 3AP-B01 属于机架式超纯水静电抑制设备,采用中空纤维膜二氧化碳溶解工艺,将微量 CO₂平稳融入超纯水,精准调节水体电阻率,消除水流静电,防止晶圆、精密元器件在湿法清洗工序因静电放电造成破损。标准 19 英寸机架结构,适合集成在大中型清洗设备水路系统

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2026-07-29

浏览次数

106
详细介绍
品牌DIC/迪爱生电动机功率无kW
外形尺寸482×425×135 mmmm重量21 kgkg
应用领域化工,电子/电池,半导体,机械设备

DIC 迪爱生 eFLOW3AP-B01超纯水防静电装置DIC 迪爱生 eFLOW3AP-B01超纯水防静电装置

产品概述

eFLOW P 系列为 DIC 迪爱生面板机架安装型超纯水防静电装置,符合 EIA 标准机架安装规格,利用中空纤维膜向超纯水溶解二氧化碳,稳定调节水体电阻率,消除超纯水流动产生的静电,避免晶圆、光学元件清洗过程静电击穿、粉尘吸附。可直接集成在清洗设备机柜内部,广泛用于半导体湿法清洗产线。1AP 标配全洁净连接器,2AP、3AP 支持选配全洁净连接器。

核心特点

  1. EIA 标准机架面板式安装,适配设备机柜集成,节省洁净车间占地

  2. 中空纤维透气膜 CO₂溶解技术,平稳调控超纯水比电阻

  3. 模组化结构,维护便捷,膜组件使用寿命长

  4. 内置水质监测接口,可对接产线上位控制系统

  5. 洁净规格可选,满足半导体高洁净制程要求

型号流量规格

  • eFLOW 1AP-B02:处理流量 1~16L/min,配置 PF-001L-NA(1 模组)

  • eFLOW 2AP-B01:处理流量 5~30L/min,配置 PF-001L-ND2(2 模组)

  • eFLOW 3AP-B01:处理流量 10~50L/min,配置 PF-001L-ND3(2 模组)

应用场景

半导体晶圆清洗机、光刻掩模版清洗、光学元件湿法清洗、PCB 精密清洗、高压喷淋清洗设备




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