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| 品牌 | MIYUKI/美幸辉 | 种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 压力环境 | 低压 | 工作温度 | 常温 |
| 流动方向 | 单向 | 零部件及配件 | 阀体 |
| 类型(通道位置) | 直动式 | 3C阀门类别 | 工业 |
| 应用领域 | 化工,电子/电池,半导体,机械设备 |
GR:手动真空闸阀系列
J = JIS 日标法兰;I = ISO 国际法兰;C = CF 刀口超高真空法兰;K = KF (NW) 快拆法兰
数字:公称通径(40A~400A)
示例:GR-I100 → ISO 法兰 DN100A 手动真空闸阀
手轮操作顺滑省力
旋转手轮驱动阀板升降,全开到全闭动作平稳无卡滞,大口径规格依旧操作轻便;标配微动位置开关,可向外输出全开 / 全闭信号,便于上位系统状态监测。
等距滚珠压紧密封,耐背压
阀板采用均匀分布滚珠施压密封,无论正向压差还是反向背压,均可维持稳定密封性能,适合腔体保压、停机隔离场景。
低放气洁净阀体
SUS304 不锈钢研磨板材真空钎焊成型,内腔无滞留死角,内壁低出气;适配高洁净真空工艺需求。
薄型紧凑结构
侧向执行机构布局,缩短阀门轴向尺寸,解决设备内部安装空间受限难题。
多法兰规格全覆盖
一套阀本体支持四种主流真空法兰标准,可直接兼容日系设备、国产产线与欧美科研装置,减少转接法兰成本。
公称通径:40A、80A、100A、150A、200A、250A、300A、400A
法兰标准:JIS / ISO-F / CF / KF (NW)
工作压力范围:常压 1×10⁵ Pa ~ 高真空 1×10⁻⁶ Pa
泄漏指标
阀体外壳泄漏:≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s
阀座密封泄漏:≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
材质:阀体 / 阀板 SUS304 不锈钢;标准轴封 FKM 氟橡胶 O 圈(可选全氟醚 Kalrez 耐腐密封)
驱动方式:手轮手动回转驱动
安装方式:水平、垂直管路通用(超大口径参考安装规范)
光学真空:光学镜片镀膜、连续式 PVD/CVD 真空设备管路隔断
半导体 & 显示:Load Lock 腔体、预抽管路、晶圆 / 面板镀膜设备检修阀
新能源锂电:真空烘烤、高温烧结、极片处理真空产线
科研仪器:超高真空实验平台、电子束设备、离子泵隔离阀
通用工业:真空热处理、钎焊炉、大型真空泵组主路切断