简要描述：MIYUKI 美幸辉 G-80A-J 气动真空闸阀
型号释义
G：G 系列气动真空闸阀
80A：公称通径 DN80
-J：JIS 日标真空法兰

型号释义

产品概述

核心特点

1. 气缸气垫缓冲 + 闭阀推力倍增（G 系列核心优势）

   行程末端空气缓冲，削弱阀板撞击震动，降低密封圈磨损；关阀瞬间推力放大，长期频繁启停依旧维持可靠密封，使用寿命优于 L 系列经济型闸阀。

2. 低颗粒洁净构造

   阀门全开状态阀板与阀体无摩擦接触，仅关阀密封阶段贴合阀座，有效抑制颗粒物析出，保护晶圆、光学基板。

3. 等距球压均衡密封机构

   密封面多点均匀受压，支持双向承压，管路背压、压差波动工况密封稳定，抗逆压性能优异。

4. 侧置气缸紧凑布局

   侧向布置驱动气缸，整机轴向尺寸更短，便于狭小设备机架内中小口径真空管路排布。

5. SUS304 不锈钢阀板

   对比 L 系列铝合金阀板，结构刚性更强、耐热性更佳，长期连续运行耐久度显著提升。

6. 低放气真空腔体

   SUS304 不锈钢阀体真空钎焊 + 内腔电解抛光，内腔无积气死角，出气速率低，满足高洁净高真空工艺需求。

7. 标准化洁净出厂检测

   洁净车间完成组装，每台执行氦气泄漏检测。

技术参数

• 驱动方式：双作用气动气缸

• 气源条件：0.4～0.6 MPa 干燥洁净压缩空气

• 法兰标准：JIS 法兰 DN80

• 工作压力区间：大气压～\(1×10^\ \text\)

• 泄漏指标

  壳体漏率：≤\(1×10^\ \text^3/\text\)

  阀座密封漏率：≤\(1×10^\ \text^3/\text\)

• 介质接触材质

  阀体：SUS304 不锈钢

  阀板：SUS304 不锈钢

  密封件：FKM 氟橡胶 O 形圈

• 可选配件：磁感应阀位反馈开关，可接入 PLC 采集阀门开闭信号

• 使用限制：常规型号不支持持续高温烘烤工况

典型应用