简要描述：MIYUKI 美幸辉 L-200A-I 隔断气动真空闸阀
型号释义
L：L 系列经济型气动真空闸阀
200A：公称通径 DN200
-I：ISO 国际标准真空法兰

MIYUKI 美幸辉 L-200A-I 隔断气动真空闸阀MIYUKI 美幸辉 L-200A-I 隔断气动真空闸阀
产品概述

L 系列是美幸辉经济型大口径气动真空闸阀，主打高通用性、紧凑薄型结构、低粉尘，面向半导体、平板显示、真空镀膜、锂电等量产真空管路，兼顾成本与洁净真空需求，为日系真空产线主流隔断阀门。

核心特点

1. 低颗粒洁净结构 阀板仅在闭合密封瞬间接触阀座；阀开启运行全程阀体不与壳体摩擦，最大限度抑制粉尘产生，保护晶圆、基板等精密工件。

2. 等距球压式密封机构 均衡压紧密封，支持双向承压、耐背压，管路压差波动工况依然保持稳定密封。

3. 薄型面间尺寸 阀体厚度更小，管路布局更紧凑；直通大通流结构，流阻低、提升腔体抽气效率。

4. 低放气腔体设计 SUS304 不锈钢壳体采用真空钎焊抛光板材一体制造，内腔、出气量低。

5. 轻量化设计 阀板采用铝合金材质，整机重量更低，方便设备集成与现场安装。

6. 洁净室组装检测 出厂经过洁净环境装配、泄漏测试，适配工艺真空环境。

基础规格参数

• 驱动方式：双作用气动气缸

• 气源压力：0.4～0.6 MPa 干燥洁净压缩空气

• 公称口径：65A、80A、100A、125A、160A、200A、250A

• 法兰标准：JIS（后缀 - J）、ISO（后缀 - I） 型号命名示例：L-160A-I、L-200A-J、L-250A-I

• 工作压力区间：大气压～1×10⁻⁵ Pa

• 泄漏指标 壳体漏率：≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s 阀座密封漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

• 接触介质材质 阀体：SUS304；阀板：铝合金；密封：FKM 氟橡胶 O 形圈

• 可选配置：阀位磁感应反馈开关，可对接 PLC 自动化控制系统

典型应用场景

半导体刻蚀 / 沉积设备真空主管、PVD/CVD 镀膜机、OLED/LCD 面板生产线、锂电真空干燥炉、大型工业高真空排气系统，用作真空管路通断隔断阀。