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2026-08-11 -
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TORAY 东丽 SD16NW 直插氧气分析仪传感器SD16NW 属于 SD 系列直插式氧检测探头，NW16 真空法兰接口，可适配 LD‑450‑T、LD‑600、MS‑510 转换单元配套使用，直接插入真空腔体，无需取样管路，实现腔体内部氧浓度原位检测，多用于小型真空腔体、微型手套箱等安装空间受限的设备。
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TORAY 东丽 MS‑510 转换器多点氧分析单元MS‑510 为多点系统配套的单通道转换单元，需要搭配 MS‑500 主机控制器以及 SD 直插传感器一起使用，整套系统最多可扩展 8 路 MS‑510 单元，实现多腔体同步氧含量采集。体积小巧，适配设备内部狭小空间安装，探头直接接入腔体，无需取样系统，多用于半导体集群设备多条产线残氧监测。
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TORAY 东丽 MS‑500 多路氧气分析仪MS‑500 为多点位分体式氧化锆氧气分析仪，单台主机最多支持 8 路 SD 直插传感器同时检测，传感器可与 LD‑450、LD‑600 系列通用，无需取样系统，探头直接接入腔体，适合多腔体、多工位设备集中监测氧含量，节约机柜空间，多用于半导体集群设备、多条产线同步残氧监控。
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TORAY 东丽 LD‑600/SD 氧气分析仪LD‑600/SD 属于分体插入式氧化锆氧气分析仪，由小型转换器搭配 SD 直插传感器组成，本体不带显示，依靠 EtherCAT 总线输出数据，无需额外取样系统，传感器可直接接入腔体，便于设备集成，多用于半导体、锂电自动化产线，完成真空、保护气氛环境下氧含量在线检测。
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TORAY 东丽 LD‑450‑T/SD 氧气分析仪LD‑450‑T/SD 为分体插入式氧化锆氧气分析仪，由壁挂转换器搭配 SD 直插传感器组成，无需取样系统，可直接安装于腔体内部，实现从 ppm 微量氧到百分比氧浓度的在线检测。设备结构紧凑，信号输出齐全，便于集成到各类工业腔体、炉体设备中，多用于真空、惰性保护气氛下氧含量实时监控。
