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MIYUKI 美幸辉 GAR‑J350B 伺服控制闸阀GAR‑J350B 属于 GAR 系列超大口径伺服真空闸阀，采用 JIS 日标 350A 法兰，B 型号配置电磁抱闸机构，断电锁止阀位。依靠伺服直驱实现 0‑100% 连续开度调节，超低泄漏、低放气低粉尘，适用于超大尺寸高真空腔体排气节流与闭环压力控制，多用于大型半导体产线、超大幅面镀膜、大型科研真空设备。
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MIYUKI 美幸辉 GAR‑J300B 伺服控制闸阀GAR‑J300B 属于 GAR 系列大口径伺服真空闸阀，采用 JIS 日标 300A 法兰，B 型号配置电磁抱闸机构，断电锁止阀位。依靠伺服直驱实现 0‑100% 连续开度调节，超低泄漏、低放气低粉尘，适用于大型高真空腔体排气节流与闭环压力控制，多用于超大腔体半导体、大面积镀膜、科研高真空设备。
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MIYUKI 美幸辉 GAR‑J250B 伺服控制闸阀GAR‑J250B 属于 GAR 系列大口径伺服真空闸阀，采用 JIS 日标 250A 法兰，B 型号配置电磁抱闸机构，断电锁止阀位。依靠伺服直驱实现 0‑100% 连续开度调节，超低泄漏、低放气低粉尘，适用于大型高真空腔体排气节流与闭环压力控制，多用于大腔体半导体、大面积镀膜、科研高真空设备。
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29产品描述
MIYUKI 美幸辉 GAR‑J200B 伺服控制闸阀GAR‑J200B 属于 GAR 系列大口径伺服真空闸阀，采用 JIS 日标 200A 法兰，B 型号搭载电磁抱闸机构，断电可锁止阀位。依靠伺服直驱实现 0‑100% 连续开度调节，超低泄漏、低放气低粉尘，适用于大型高真空腔体做排气节流与闭环压力控制，广泛用于半导体、大面积镀膜、科研高真空设备。
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MIYUKI 美幸辉 GAR‑J160B 伺服控制闸阀 型号：GAR‑J160B 法兰规格：JIS 日标法兰 公称口径：160A 产品系列：GAR 系列伺服控制闸阀 工作压力范围：10⁵Pa～10⁻⁶Pa 内部密封泄漏量：≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s 轴封外部泄漏量：≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s 接气材质：SUS304 不锈钢
