更新时间:2026-10-19
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近日,我司新推出了日本FLUORO福乐(フロロメカニック)C001-D-X-106 防静电真空吸笔。该产品为C系列导电型真空吸笔中的常闭点动款,采用NC常闭型阀体与X型360°万向旋转接头,配备106mm加长金属导杆,笔身采用碳纤维增强导电尼龙材质,吸嘴采用导电PEEK材质,面向半导体晶圆搬运、探针台测试、芯片封装等对静电防护和精准对位有严苛要求的干式无尘场景。目前原装现货在库,含吸笔主机及106金属导杆,下单即可安排发货。
一、型号释义:C001-D-X-106
| 编码 | 含义 |
|---|---|
| C001 | C系列导电防静电款,NC常闭阀体,按住按键吸附,松开按键直接释放工件 |
| D | 标准直型本体,手动真空控制阀,无需外接电磁阀 |
| X | X型360°万向旋转接头,吸头可自由调整角度,适配腔体内部狭小工位 |
| 106 | 106mm加长金属导杆规格,用于设备较深腔体内部取料作业 |
二、核心技术解析:常闭点动 + X万向接头 + 全域防静电
① NC常闭点动阀,精准控制每一次吸附。 C001-D-X-106采用NC(Normally Closed)常闭型阀体。操作逻辑为:按住按键形成吸力拾取工件;松开按键直接卸压放下器件。与C002常开型“接通真空即吸附"的逻辑相反,C001的常闭设计让操作人员主动控制吸附时机,特别适合探针台上下料、检测工位对位等需要“吸起-微调-放下"精准操作的场景,避免误吸附导致的晶圆掉落风险。
② 106mm加长金属导杆,深入腔体作业。 106规格的加长金属导杆专为设备较深腔体内部取料设计。可深入设备腔体、载具、治具内部进行晶圆取放,无需拆解设备,有效降低操作人员将手伸入设备深处带来的污染风险,特别适合机台内部、探针台等空间受限工位。
③ X型360°万向旋转接头,狭小空间灵活对位。 软管连接处可360°自由转动,不受真空软管拉扯束缚。在设备腔体深处、夹具夹缝位置拾取晶片时操作更加灵活,倾斜工位也可以垂直贴合工件表面,降低碎片风险。
④ 全域防静电防护,保障晶圆良率。 笔身采用碳纤维增强导电尼龙树脂(TORAYCA) 制成,吸嘴采用导电PEEK材质,两者构成完整的静电泄放通路。表面电阻率稳定控制在10⁶~10⁸Ω的防静电范围内,可快速疏导作业过程中因摩擦产生的静电荷,有效消除静电积聚。整机无尖锐外露金属件,作业过程避免晶片镀膜刮伤,适配Class10-1000洁净室环境。
⑤ 氟树脂密封阀芯,高频按压不衰减。 内部阀芯采用氟树脂密封结构,阀体内壁经抛光处理,高频次反复按压依旧气密性稳定,不易漏气失效。密封件耐受弱酸弱碱与有机溶剂侵蚀,在洁净环境中长期连续使用不易老化。
三、主要技术规格
| 参数项 | 规格信息 |
|---|---|
| 品牌 | FLUORO福乐 |
| 型号 | C001-D-X-106 |
| 系列 | C系列(导电型) |
| 阀体种类 | NC(常闭型,按住按键吸附,松开按键释放) |
| 连接种类 | X型360°万向旋转接头 |
| 笔身材质 | 碳纤维增强导电尼龙树脂(TORAYCA) |
| 吸嘴材质 | 导电PEEK(聚醚醚酮),镜面抛光处理 |
| 表面电阻率 | 10⁶~10⁸Ω |
| 工作负压 | 0~-80kPa可调 |
| 加长金属导杆 | 106规格 |
| 整机重量 | 约23~28g |
| 适配管径 | Φ3×5 / Φ4×6 |
| 使用环境 | Class100~1000洁净室,仅限干式工况 |
| 产地 | 日本 |
四、C系列选型对比
| 型号 | 阀门逻辑 | 核心差异 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| C001 | NC常闭型 | 按住吸附,松开释放 | 精准点动取放,探针台上下料 |
| C002 | NO常开型 | 接通真空即吸附,按下按钮释放 | 连续搬运,快速取放 |
| C003 | NO+SW | 常开吸附+独立自锁开关 | 长时间持料转运、静置校准 |
五、配套真空泵方案
FLUORO FV系列无油隔膜真空泵专为半导体无尘室开发,作为C001-D-X-106吸笔专用负压气源,适配Class100-1000洁净环境。
| 型号 | 最大负压 | 适配吸笔 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| FV-10-240 | -80kPa | C001/C002/C003/F002 | 小芯片、4~6寸晶圆 |
| FV-30-240 | -84kPa | C001/C002/C003/F002 | 4~8寸晶圆主流选型 |
| FV-60-240 | -88kPa | C001/C002/C003/F002 | 8~12寸大重量/翘曲晶圆 |
整机无油设计,杜绝油污污染晶圆,进气口和排气口均内置HEPA过滤器。
六、适用行业与场景
半导体制程:6英寸及以下硅晶圆手动转移;探针台测试上下料;研磨、划片取样
芯片封装测试:MEMS器件、LED晶片、小型精密元器件拾取,替代金属镊子
光学行业:镀膜玻璃基板、光学滤光片无尘搬运
化合物半导体:碳化硅衬底、氮化镓晶片基板的防静电取放
科研实验室:薄脆陶瓷片、光电薄片样品精密转移取样
七、现货库存信息
FLUORO福乐 C001-D-X-106 防静电真空吸笔目前原装现货在库,含吸笔主机及106金属导杆,下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件,包括替换吸嘴(95-CP/96-CP等规格)、替换106金属导杆、氟塑料真空软管(Φ3×5、Φ4×6)、FV系列无油隔膜真空泵、桌面式吸笔支架等。可针对不同晶圆尺寸、工艺环境和操作习惯匹配吸笔型号与真空泵方案,并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价,欢迎随时联系我司销售团队