现货！FLUORO福乐 F001-D-X-101 真空吸笔

近日，我司新推出了日本FLUORO福乐（フロロメカニック）F001-D-X-101 耐化学腐蚀真空吸笔。该产品为F系列湿法工艺专用型号，采用PTFE（特氟龙）全氟笔身与NC常闭点动阀体，搭配X型360°万向旋转接头，吸嘴采用PEEK材质，专为半导体湿法清洗、酸碱蚀刻、光刻剥膜等强化学药液环境下的晶圆与基板拾取转运开发。目前原装现货在库，含吸笔主机，配套吸嘴可按需选配，下单即可安排发货。

一、干式吸笔进不了湿法槽，痛点在哪里？

半导体湿法工序中，晶圆从蚀刻槽、清洗槽中取出时，表面附着酸碱药液或有机溶剂。普通防静电吸笔的导电尼龙笔身和金属部件，在药液雾气或浸泡环境下会加速老化、溶胀，甚至析出金属离子污染晶圆表面。F001-D-X-101的解决思路很直接：笔身、阀体接触介质部位全部采用PTFE氟树脂，从根源上切断腐蚀路径，同时保留真空吸笔在狭小槽体内灵活取放的优势。

二、型号释义：F001-D-X-101

三、核心技术解析：NC点动 + X万向 + 全氟笔身

① NC常闭点动阀，按下吸附、松开释放。 F001-D中的“D"代表NC（Normally Closed）常闭阀体。操作逻辑为：按住笔身上的按钮产生负压吸附工件，松开按键即刻切断真空完成释放，单手即可完成全部拾取动作。这一设计尤其适合湿法槽体内短时间频繁取放晶圆、基板的作业节奏，操作响应迅速，避免因阀门延迟导致的工件掉落风险。阀芯内部采用氟树脂密封，负压损耗小，吸力输出稳定，薄晶圆拾取不易掉片。

② PTFE全氟笔身，耐强酸强碱与有机溶剂。 笔身主体及阀体接触介质部位均采用PTFE（特氟龙）氟树脂材质，可直接接触各类酸碱药液、有机溶剂浸泡，不易溶胀、老化，也不会向药液中释放金属离子或颗粒污染。与C系列导电尼龙干式吸笔不同，F001-D-X-101专为带药液工况设计，弥补了干式吸笔无法进入湿法槽体的短板。

③ X型360°万向旋转接头，槽体内灵活对位。 吸附头部可360°自由旋转，在清洗槽、蚀刻槽等狭小空间内作业时，握持笔身不动即可调整吸附角度，无需转动手腕，显著降低长时间操作的手部疲劳。对于需要精确对准晶圆边缘安全区的湿法取放工位，这一特性尤为关键。

④ PEEK吸嘴，镜面精加工不划伤。 适配101系列及06-PK等PEEK吸嘴，经镜面精加工处理，接触面光滑无孔隙，拾取晶圆时不会划伤抛光面、光刻胶或镀膜层。吸嘴为独立消耗件，磨损后单独更换即可，无需更换整支吸笔，有效降低长期使用成本。

⑤ 模块化快拆结构，一套吸笔适配多道工序。 笔身阀体、吸引轴、吸嘴三者独立拆分，101系列多种吸嘴规格可覆盖从薄片、小尺寸基板到6英寸晶圆的取放需求，一套吸笔适配多道湿法工序。

四、主要技术规格

五、F系列选型边界

F001的NC常闭逻辑适合需要精准控制吸附时机的槽体取放作业，吸附与释放由操作人员主动控制；F002的NO常开逻辑在连续搬运工位中操作更简洁。若需要在槽体内进行频繁的精准对位取放，F001-D-X-101的NC点动逻辑配合X万向接头是更合适的选择。

六、配套真空泵与耗材

可搭配FLUORO FV系列无油隔膜真空泵组成完整拾取系统：FV-10-240（微小工件、4～6寸）、FV-30-240（4～8寸主流选型）、FV-60-240（8～12寸大重量/翘曲晶圆）。同时供应配套耗材及附件，包括替换PEEK吸嘴（101系列及06-PK）、替换吸引轴、氟塑料真空软管（Φ3×5、Φ4×6）、桌面式吸笔支架等。

七、适用行业与场景

• 半导体湿法清洗：清洗槽、蚀刻槽、显影槽内带药液晶圆的取放转运

• 刻蚀后工序：刻蚀后带药液晶圆、碳化硅基板、化合物半导体晶圆的搬运

• 光电行业：玻璃衬底、光学薄片湿法工序拾取

• 科研实验室：化学处理后样品、薄片基板在酸碱环境中的无尘转移

• 湿法设备周边：清洗机、蚀刻机、显影机等设备内腔晶圆拾取

八、现货库存信息

FLUORO福乐 F001-D-X-101 耐化学腐蚀真空吸笔目前原装现货在库，含吸笔主机，配套吸嘴可按需选配，下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件，包括替换PEEK吸嘴、替换吸引轴、氟塑料真空软管、FV系列无油隔膜真空泵、桌面式吸笔支架等。可针对不同晶圆尺寸、湿法工艺环境和操作习惯匹配吸笔型号与真空泵方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。