现货！FLUORO福乐F001-D-X-101真空吸笔 防静电万向接头取放新品发布

近日，我司新推出了日本FLUORO福乐（フロロメカニック）F001-D-X-101 真空吸笔。该产品为F系列耐化学腐蚀型主力型号，采用NC常闭点动阀体与X型360°万向旋转接头，笔身主体采用PTFE氟树脂材质，搭配导电PEEK吸嘴，面向半导体湿法清洗、蚀刻后带药液晶圆取放、碳化硅基板及化合物半导体晶圆的精密转运场景。目前原装现货在库，含吸笔主机，配套吸嘴可按需选配，下单即可安排发货。

一、四十余年晶圆拾取经验，湿法工艺专用吸笔

FLUORO福乐隶属于日本フロロメカニック（Fluoro Mechanic），自1983年开发真空镊子以来，专注半导体硅晶圆吸附搬运工具及小型高压真空泵的研发与制造。F001是F系列耐化学型真空吸笔的基础本体型号，采用PTFE特氟龙全氟材质打造，专为半导体湿法工艺工况开发，可直接接触强酸强碱与有机溶剂，弥补干式C系列吸笔无法接触化学药液的短板。

二、核心技术解析：NC常闭点动阀 + X万向接头

① NC常闭点动阀体，按下吸附、松开释放。 F001-D中的“D"代表NC（Normally Close）常闭阀体。操作逻辑为：按住笔身上的按钮产生负压吸附工件，松开按键即刻切断真空完成释放，单手即可完成全部拾取动作。这一设计尤其适合湿法槽体内短时间频繁取放晶圆、基板的作业节奏，操作响应迅速，避免因阀门延迟导致的工件掉落风险。阀芯内部采用氟树脂密封，负压损耗小，吸力输出稳定，薄晶圆拾取不易掉片。

② X型360°万向旋转接头，槽体内灵活对位。 F001-D-X中的“X"代表360°万向旋转接头。吸附头部可自由旋转，在清洗槽、蚀刻槽等狭小空间内作业时，握持笔身不动即可调整吸附角度，无需转动手腕，显著降低长时间操作的手部疲劳。这一特性对于需要精确对准晶圆边缘安全区的湿法取放工位尤为关键。

③ PTFE氟树脂笔身，耐强酸强碱与有机溶剂。 F001-D-X-101笔身主体采用PTFE（特氟龙）氟树脂材质，阀体接触介质部位同样进行防腐处理。可耐受各类酸碱药液、有机溶剂浸泡，不易溶胀、老化，也不会向药液中释放金属离子或颗粒污染。整机重量约24-35g，长时间手持作业不易疲劳。

④ 101系列PEEK吸嘴，镜面精加工不划伤。 该型号适配101系列吸嘴，吸嘴采用PEEK材质，经镜面精加工处理，接触面光滑无孔隙，拾取晶圆时不会划伤抛光面、光刻胶或镀膜层。吸嘴为独立消耗件，磨损后单独更换即可，无需更换整支吸笔，有效降低长期使用成本。

⑤ 模块化结构，适配多种工件尺寸。 笔身阀体、吸引轴、吸嘴三者独立拆分。101多种吸嘴规格，覆盖从薄片、小尺寸基板到6英寸晶圆的取放需求。可搭配06-PK等PEEK吸嘴使用，一套吸笔适配多道湿法工序。

三、主要技术规格

四、F001与C系列、F002的选型边界

C系列为防静电干态吸笔，笔身导电尼龙材质，适合干式无尘工位；F系列为耐化学湿法吸笔，PTFE氟树脂材质，适合带药液工况。

F001与F002的核心差异在于阀门逻辑：F001为NC常闭型，按住按钮吸附、松开释放，适合短时间频繁取放的湿法槽体作业；F002为NO常开型，接通真空即吸附、按下按钮释放，适合连续持料转运或长时间静置观测的工位。若需要在槽体内进行精准对位取放，F001-D-X-101的NC点动逻辑配合X万向接头是更合适的选择。

五、适用行业与场景

• 半导体湿法清洗：清洗槽、蚀刻槽、显影槽内带药液晶圆的取放转运

• 刻蚀后工序：刻蚀后带药液晶圆、碳化硅基板、化合物半导体晶圆的搬运

• 光电行业：玻璃衬底、光学薄片湿法工序拾取

• 科研实验室：化学处理后样品、薄片基板的无尘转移

• 湿法设备周边：清洗机、蚀刻机、显影机等设备内腔晶圆拾取

六、现货库存信息

FLUORO福乐 F001-D-X-101 真空吸笔目前现货在库，含吸笔主机，配套吸嘴可按需选配，下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件，包括替换吸嘴（101系列及06-PK等PEEK吸嘴）、替换吸引轴、氟塑料真空软管（Φ3×5、Φ4×6）、桌面式吸笔支架等。可搭配FV-30、FV-60等真空泵组成完整拾取系统。可针对不同晶圆尺寸、湿法工艺环境和操作习惯匹配吸笔型号与真空泵方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。