现货供应！FLUORO福乐F002-D-X-100真空吸笔：耐化学腐蚀万向接头款

近日，我司新推出了日本FLUORO福乐（フロロメカニック）F002-D-X-100 耐化学腐蚀真空吸笔。该产品为F系列湿法工艺专用型号，采用NO常开型阀门与X型万向旋转接头，笔身主体采用PTFE氟树脂材质，可直接接触酸碱蚀刻药液，面向半导体湿法清洗、刻蚀后带药液硅片、碳化硅基板及化合物半导体晶圆的取放转运场景。目前原装现货在库，含吸笔主机及100系列吸笔头，下单即可安排发货。

一、四十余年晶圆拾取经验，湿法工艺专用吸笔

FLUORO福乐隶属于日本フロロメカニック（Fluoro Mechanic），自1983年开发真空镊子以来，专注半导体硅晶圆吸附搬运工具及小型高压真空泵的研发与制造。F系列是FLUORO针对湿法工艺开发的耐化学腐蚀产品线，笔身主体采用PTFE氟树脂，可直接接触酸碱药液，在半导体清洗、刻蚀等湿法工序中积累了广泛的应用实绩。

二、核心产品特性

① PTFE氟树脂笔身，耐强酸强碱腐蚀。 F002-D-X-100笔身主体采用PTFE（4F-特氟龙）氟树脂材质，对酸碱蚀刻药液、有机溶剂具有优异的耐化学腐蚀性能。在湿法清洗、刻蚀后带药液硅片的取放转运中，吸笔可直接接触药液环境，不会因腐蚀导致笔身老化、变形或释放颗粒污染。

② X型万向旋转接头，多角度灵活取放。 该型号采用X型球状旋转接头，笔身与吸嘴之间可实现360°万向旋转。在湿法药液槽、清洗槽等空间受限的工位，操作人员无需转动手腕即可调整吸笔角度，轻松完成槽体内部晶圆的取放作业。

③ NO常开阀门，接通真空即吸附。 F002采用NO（Normally Open）常开型阀门。接通真空后即保持吸附状态，将吸笔头轻触晶圆背面即可自动吸附；放下晶片时只需按下按钮，即可切断真空释放工件。这一操作逻辑适合湿法产线连续取放作业，降低操作人员手部疲劳。

④ 100系列吸嘴，适配多种晶圆尺寸。 该型号适配FLUORO 100系列吸嘴，吸嘴为独立消耗件，老化磨损后仅需更换前端耗材，无需更换整支吸笔。可根据晶圆尺寸和工艺环境，快速更换不同规格吸嘴，一套吸笔适配多道湿法工序。

⑤ 模块化可更换设计，降低长期使用成本。 笔身阀体、金属轴、吸嘴三者独立拆分，拆装无需专用工具，洁净车间内可快速完成更换。吸嘴作为独立耗材，长期使用成本可控。

三、主要技术规格

四、适用行业与场景

• 半导体湿法清洗：清洗槽、蚀刻槽内带药液硅晶圆的取放转运

• 刻蚀后工序：刻蚀后带药液晶圆、化合物半导体基板的搬运

• 碳化硅/化合物半导体：碳化硅、氮化镓等基板的湿法工艺取放

• 湿法设备周边：清洗机、蚀刻机、显影机等设备内腔晶圆拾取

• 科研实验室：湿法化学实验、薄片易碎样品的手动转移

五、现货库存信息

FLUORO福乐 F002-D-X-100 耐化学腐蚀真空吸笔目前现货在库，含吸笔主机及100系列吸笔头，下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件，包括替换吸嘴（100系列）、替换金属轴、氟塑料真空软管（Φ3×5、Φ4×6）、桌面式吸笔支架等。可针对不同晶圆尺寸、湿法工艺环境和操作习惯匹配吸笔型号与真空泵方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。

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