更新时间:2026-09-18
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新品发布|FLUORO 福乐 BC‑K6 6 寸伯努利非接触悬浮卡盘晶圆搬运上新近期我司新推出 FLUORO 福乐 BC‑K6 6 寸伯努利非接触悬浮卡盘,现货库存,面向半导体无尘车间正式上新开售。
在薄晶圆以及双面带图形晶圆的转运作业当中,传统真空吸笔的吸盘直接贴附晶片表面,极易留下压痕、划伤光刻胶与电路图形;普通机械镊子夹持又容易造成薄片崩边碎裂,一直是晶圆搬运环节的难点。BC‑K6 伯努利悬浮卡盘依托伯努利气流原理,通入洁净压缩空气之后形成一层稳定气膜,卡盘盘面不触碰晶圆正面有效区域,仅导向挡块轻微点接触晶圆外缘,真正做到非接触式悬浮拾取搬运。
本体采用导电 MC 尼龙材质,导向环为防静电 PC 材质,整体具备 ESD 防静电性能,能够疏导静电,规避静电放电损伤芯片。透明导向环可以肉眼直接观察晶圆悬浮与居中状态,作业调试直观方便。本机提供 20°、45°、90° 三种固定操作角度可以选型,整机轻量化设计,手持作业手感轻便,可搬运薄至 50μm 的 6 寸薄硅片,双面图形晶圆同样适用。
⚠️使用提示:BC‑K6 需要外接洁净压缩空气气源(空压机 + 调压阀),不可搭配 FV 系列真空泵使用。
✅主要应用场景:6 寸薄硅片、碳化硅薄片、双面图形晶圆、镀膜晶片;半导体镀膜工序、光刻前后转运、实验室薄晶圆取样搬运,适配百级千级无尘车间。
📦供货情况:FLUORO 福乐 BC‑K6 6 寸伯努利非接触悬浮卡盘目前现货库存发售。