洁净真空动力源！FLUORO 福乐 FV‑60 吸笔配套真空泵到货

新品发布｜FLUORO 福乐 FV‑60 无油隔膜真空泵 吸笔配套真空泵上新近期我司新推出 FLUORO 福乐 FV‑60 无油隔膜真空泵，现货库存，面向半导体无尘车间正式上新开售。

半导体无尘车间使用真空吸笔作业时，真空泵就是整套吸取工具的动力核心。普通油泵容易产生油雾挥发，油雾随管路进入吸笔之后，会直接污染晶圆表面光刻胶与芯片电路，造成工件报废；普通简易真空泵缺少过滤与防静电设计，也很难满足百级千级洁净室的管控标准。FV‑60 无油隔膜真空泵专为 FLUORO 福乐 C、F 系列真空吸笔配套开发，干式无油隔膜结构，泵腔内部无需加注润滑油，从根源杜绝油雾污染风险。

本机进出气两端内置 HEPA 过滤网，0.3μm 颗粒物过滤效率可达 99.97%，机身带有滤芯可视观察窗，可以直观查看滤芯积尘情况，便于及时更换维护。整机外壳采用导电尼龙材质，具备 ESD 防静电能力，可疏导作业回路当中的静电，降低静电击穿晶圆芯片的风险。整机体积小巧轻便，占用工作台空间很小，运行噪音低，支持长时间连续运转，极限真空‑80kPa，流量 2.5L/min，真空输出稳定，既可以适配 6 寸、8 寸，也可以支持 12 寸晶圆的拾取作业。

✅主要应用场景：半导体无尘工作台、探针台工位、晶圆实验室检测；适配 FLUORO 福乐 C001‑X‑96‑CP 等全系列 C/F 晶圆真空吸笔，搭配 652 台式吸笔座组成一整套晶圆吸取系统。

📦供货情况：FLUORO 福乐 FV‑60 无油隔膜真空泵目前现货库存发售。