更新时间:2026-09-15
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在半导体制造、功率器件研发、光学基板检测等无尘车间作业场景中,晶圆的人工取放转运是一项高风险操作,晶圆边缘崩边、表面划伤、微粒污染、静电损伤,都会直接造成产品报废。FLUORO 福乐 M100-300L 是专为 12 英寸硅晶圆设计的杠杆锁式手动晶片夹,近期我司新推出升级了这款 FLUORO 福乐 M100-300L 晶片夹产品。产品采用 PEEK 材质制作,依靠杠杆锁定结构夹持晶圆外缘,无需真空气源,适合晶圆外观检测、工序临时转运、实验室样品处理等场景,现货库存充足,可满足各大工厂、实验室、检测机构批量采购需求。
FLUORO 福乐 M100-300L 晶片夹为杠杆锁紧式机械夹持工具,整机长度 180mm,自重仅 77g,专门适配 12 英寸晶圆。产品核心是杠杆锁止机构,借助杠杆原理,操作人员仅需很小的按压力就可以完成晶圆夹持,扣上锁扣之后,不需要持续用力握持,只需托举晶片夹本体即可搬运晶圆,有效减轻长时间作业手部疲劳。夹持区域采用两点外缘接触设计,仅接触晶圆侧边位置,避开晶圆正面与背面的器件有源区域,降低污染与划伤风险。接触晶圆的上下接触面宽度分别为 10mm、16mm,接触面经过精细抛光处理,柔和无尖锐棱角,夹持过程稳定,不易发生晶圆滑移。
在材质工艺方面,FLUORO 福乐 M100-300L 整体采用 PEEK 聚醚醚酮一体加工成型,整支工具无金属零件、无粘接胶水,从根源杜绝金属离子析出污染晶圆。PEEK 材料本身具备出色的耐热性能,最高可耐受 130℃高温工况,同时拥有优秀耐化学特性,可耐受无尘车间常见有机溶剂、清洗剂,适合干式无尘环境使用。材质刚性强,不易变形,长期反复夹持使用不易磨损掉屑,满足 Class100–Class1000 无尘室使用要求。
针对晶圆制程的静电防护需求,M100-300L 提供稳定的材料特性,在夹持作业过程中,不会因为摩擦产生大量静电积聚,降低静电击穿晶圆内部元器件的风险。对于化合物半导体、低 K 介质晶圆、光敏基板这类静电敏感工件,可有效减少静电带来的不良隐患。工具表面光滑,不易附着粉尘,日常清洁简单,使用无尘布搭配无尘清洗剂擦拭即可,擦拭后不会出现材质发白、起皮、开裂的问题,使用寿命长,减少产线工具更换频次。
结构设计上,杠杆锁扣操作简单,取放晶圆流程便捷。夹持晶圆时,按压手柄夹住晶圆外缘,扣上锁定卡扣,即可松手搬运;作业完成后,解除锁扣,手柄自动松开,取下晶圆。内置限位结构,避免夹持力过大挤压晶圆,防止硅片崩边破损。两点夹持的设计,相比大面积接触式工具,接触面积极小,微粒附着概率更低,能够有效保护晶圆正反面膜层与电路结构。工具整体轻巧,便于操作人员在无尘工作台、晶圆检测台、样品实验室灵活使用。
在实际产线应用中,很多晶圆检测工位、研发实验室不适合布置真空管路,无法使用真空吸笔,M100-300L 机械晶片夹就是理想替代方案。在晶圆外观目检、膜层观测、样品抽检、工序之间短距离转运场景,无需真空泵、气管配套,开箱直接使用,不受气源限制。在研发实验室、小批量试样产线、高校半导体实验平台,该工具使用灵活,可快速完成 12 寸晶圆的转移操作。但该产品为外缘夹持,仅适合干式作业,不建议在湿法槽体内部直接使用。
该产品适配场景广泛,覆盖 12 寸硅晶圆分拣检测、碳化硅晶圆样品转运、光学基板、镀膜基板抽检、功率半导体器件研发、芯片实验室样品分析、精密元器件试样返修等干式无尘作业场景。在没有真空供给的工位、临时取样工位、科研实验室尤为适用,和福乐 C 系列、F 系列真空吸笔形成互补,构成完整的晶圆手动搬运工具组合。
对比市面上普通晶圆镊子,FLUORO 福乐 M100-300L 带杠杆锁定机构,普通直压式镊子需要一直用力捏住,长时间操作容易手酸,还会出现手劲不稳导致晶圆滑落的风险。M100-300L 锁止之后持续保持夹持力,搬运过程更加稳定。原厂加工精度高,夹持头平行度控制严格,批次一致性好,不会出现夹持错位、边缘刮擦晶圆的问题。工具无需配套气源,无管路,无耗材,维护简单,上手门槛低,新员工经过简单培训就可以操作。
整体而言,FLUORO 福乐 M100-300L 杠杆锁晶片夹,是 12 寸晶圆干式人工转运的专用工装。它依靠 PEEK 耐化学耐高温材质、两点外缘夹持、杠杆锁止结构,在无真空气源的工况下安全完成晶圆搬运,减少晶圆崩边、划伤、微粒污染风险,减轻操作人员作业负荷。现货充足,支持单件试样、批量采购,发货速度快,可满足各大半导体工厂、光电企业、科研实验室、封装测试厂商的配套使用需求,为精密无尘作业提供稳定可靠的辅助保障。