产品迭代技术公告：FLUORO 福乐 05‑PK 吸嘴停产，升级替代型号 507

一、迭代背景

05‑PK 作为 FLUORO 福乐经典导电 PEEK 晶圆吸嘴，长期应用于半导体 8 英寸晶圆湿法转运制程，现已正式停产退市。近期我司新推出升级了型号 507 作为直接替换耗材，原有吸笔底座、真空管路无需改造，实现无缝兼容替换。

二、核心产品参数

1. 材质：改性防静电 PEEK 树脂，镜面抛光热处理，低析出、低发尘

2. 适配工件：8 英寸半导体硅晶圆

3. 洁净等级：Class100 无尘标准，满足半导体高洁净制程

4. 静电防护：表面电阻率稳定控制在 10⁶~10⁸Ω，疏导静电，保护器件不被击穿

5. 耐介质性能：耐受、盐酸、显影液、剥离液、IPA 等酸碱与有机溶剂

6. 工作温度：‑20℃～180℃，冷热交替药液环境不易变形溶胀

7. 安装兼容：适配原 F 系列 F001/F002/F003 全系真空吸笔，X/Z 接头通用，无需更换工装

三、产品用途

主要用于半导体产线 8 英寸晶圆湿法清洗、酸蚀刻、显影、镀膜、检测工序的无损拾取转移；适配百级无尘车间手持或简易机械手取片作业，镜面接触面不会划伤晶圆光刻胶与镀膜层，解决超薄晶圆粘片、崩边的生产痛点。升级款 507 优化了结构尺寸，耐磨寿命更长，高频量产工况下更换周期延长，降低耗材成本。

四、供货与替换说明

原型号 05‑PK 不再安排生产，后续补货与新项目统一选用升级款 507。目前新品 507 现货库存充足，可快速提供样品上机验证及批量交付，保障客户产线供货稳定不断档。

五、技术支持

可提供完整洁净度报告、耐药液测试报告与规格图纸，如需试样、报价欢迎联系对接