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FLUORO 福乐 F001‑D‑X‑101 耐化学真空吸笔新品发布 现货库存

更新时间:2026-08-25

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半导体湿法工序处理晶圆,经常接触各类强腐蚀药液,普通操作工具容易出现腐蚀溶胀、金属离子析出、阀体漏气掉件等问题,近期我司新推出升级了FLUORO 福乐 F001‑D‑X‑101 耐化学真空吸笔,专为洁净湿法环境设计,适配晶圆在药液槽内的拾取与转运作业。

该型号采用常开阀结构,常态维持真空吸附,按下按键即可释放工件,长距离搬运晶圆无需持续按压,单手就可以完成拾取、移位、放置整套操作,长时间作业手部不容易产生疲劳。整机与药液接触部位全部采用 PTFE 氟树脂材质,流道、阀体无金属接触介质,、强酸强碱、剥离液、各类有机溶剂,不会被药液侵蚀开裂,也不会析出杂质污染晶圆表面,满足无尘车间严苛制程要求。

配置 D‑X 万向旋转接头,吸嘴支持 360 度自由转动,槽体深处、狭小腔体内部都可以灵活调整作业角度。内部流道经过镜面处理,不易残留药液残渣,支持整机超声清洗,低发尘,适配高等级洁净室使用标准。气管对接简单,可直接匹配车间现有真空源,无需复杂改造即可投入现场使用。

采用模块化拆装结构,吸嘴、吸杆均可单独拆卸更换,耗材损耗只需替换对应配件,不用整支更换吸笔,降低产线运维成本。可搭配多种规格 PEEK、Vespel 材质吸嘴,硅晶圆、玻璃基板、陶瓷薄片、光学晶片都可以适配,兼顾实验室研发调试与产线大批量连续生产。

广泛用于半导体湿法清洗、蚀刻工艺、晶圆实验室、光学基板加工、光伏晶片处理等场景,在药液浸泡环境下完成工件无接触搬运,减少晶圆划伤、崩边、药液污染带来的产品报废。


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