关于静电测量仪器的技术文章
更新时间：2026-08-13
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有效的静电放电 (ESD) 防护措施需要精确的 ESD 测量和持续的测量管理才能保持其有效性。我们丰富的 ESD 测量仪器产品线可满足各种需求，实现精确的测量和管理，从而解决您的 ESD 问题。此外，我们自主研发和生产表面电位传感器——表面电位测量的核心部件，并不断致力于开发的 ESD 测量技术。
电子行业的静电测量
静电测量仪器的类型
关于表面电位测量仪器
表面电位测量仪器的测量原理
左图所示为表面电位测量仪中使用的表面电位传感器的测量原理。该表面电位传感器利用静电感应现象。当检测电极接收到来自带电物体的静电场强度 Eo（与带电物体的电荷电位 Vo 成正比）时，会产生感应电荷 q。当振动电极周期性地改变静电场强度 Eo 时，感应电荷 q 也随之周期性变化，从而产生从检测电极流向接地电极的位移电流 ls。该电流经电阻 Rs 转换为交流电压信号 Vs，带电物体的电荷电位 Vo 可由该交流信号 Vs 确定。这就是表面电位传感器的检测原理。
表面电位测量仪器的特点
测量距离是预先设定的。改变测量距离也会改变显示的电位。
测量区域的大小取决于测量仪器的类型。如果被测物体的尺寸小于测量区域，则显示的电势值会低于实际电荷电势。→ 您需要使用专为测量小型物体而设计的表面电势测量仪器进行测量。
必须考虑被测物体的电容。即使电荷量（Q）保持不变，如果带电物体的电容从（C1）变为（C2），充电电压也会从（V1）变为（V2）。
由于电荷量受环境影响很大，测量数据必须包括测量地点和条件（温度、湿度等）。
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