KOFLOC 科赋乐 MFM 质量流量计的精度如何

科赋乐 MFM 属于热式气体质量流量计，精度指标以FS 满量程误差为基准，出厂采用氮气在 25℃标准环境完成标定。MFM 仅负责流量检测，不带流量调节阀体，气源压力波动不会影响仪表读数，但是会改变管路内部真实流量。

各系列精度参数5410 系列全金属密封 MFM测量精度：±1.0%FS重复性：±0.2% FS温度系数：0.1% FS/℃，适用环境 15‑35℃

3760 紧凑型小流量 MFM，量程 10sccm‑20SLM测量精度：±1.0%FS重复性：±0.5% FS

3765 大流量 MFM，量程 30‑100SLM测量精度：±1.5%FS重复性：±0.5% FS

EX‑M 数字全金属 MFM常规档位测量精度±1.0%FS，大流量档位为 ±1.5% FS重复性 ±0.2‑0.5% FS，支持 RS485 通讯，内置多组气体转换系数。

8500MM 本地数显款 MFM测量精度 ±1.0% FS，可读取瞬时流量与累积流量，模拟、数字双信号输出。

关键性能说明最佳测量工作区间为20%‑80%FS。低于 20% 满量程时，设备绝对误差保持不变，相对误差会明显增大，不建议在 10% FS 以下开展高精度计量工作。设备重复性优于整机精度，多次测量读数一致性好，适合对比类实验。MFM 本身不受压力干扰，但无法抑制因为气源压力波动造成的管路实际流量变化。环境温度偏离 25℃会产生温度漂移，温度系数 0.1‑0.2% FS/℃。上机通电需要预热 15‑20 分钟，定期执行零点标定，抵消零点漂移带来的误差。出厂标定介质为氮气，使用氢气、氩气、氧气等其他气体，必须使用对应气体转换系数换算，直接沿用氮气读数会产生额外测量偏差。

现场影响实际测量精度的外部因素1、零点漂移：长时间连续运行会产生零点偏移，需要定期零点标定，未标定会直接降低测量准确度。2、气源压力变化：MFM 读数不受压力影响，但管路实际流量会跟随压力改变，如果需要管路流量稳定，上游应当加装稳压阀。3、介质匹配：腐蚀性气体必须选用全金属密封机型，橡胶密封被介质侵蚀后，会持续出现测量偏差。4、管路状态：管路阻尼、过滤器节流、管路泄漏，会改变管路真实流量，仪表读数依旧准确，但读数和工艺实际工况流量会出现不一致。

选型提示只做流量监测、数据记录、对比实验，MFM 的精度可以满足使用；如果既要测量流量，又要自动维持管路流量恒定，需要选用 MFC 质量流量控制器。